位置>千里马招标网> 招标中心> 睿力集成电路有限公司采购光刻涂布显影机台所使用之光刻胶项目国际招标公告(2)
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1、招标条件
项目概况:(略)采购光刻涂布显影机台所使用之光刻胶项目
资金到位或资金来源落实情况:(略)
项目(略)招标条件的说明:(略)
2、(略)
招标项目编号:(略)
招标项目名称:(略)采购光刻涂布显影机台所使用之光刻胶项目
项目实施地点:(略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
氩氟式感光涂布显影机黏度 1.5cp 光刻胶 | 14瓶 | CD resolution(分辨率) 0.10μm(H)/ 0.07μm(H) | ||
浸润式感光涂布显影机黏度 3.8cp 硬掩膜光刻胶 | 14瓶 | Solvent Base PGEE 85%;H2O 15% | ||
浸润式感光涂布显影机黏度 1.5cp 光刻胶 | 27瓶 | NA=1.3 ,σ=0.98/0.78s | ||
浸润式感光涂布显影机黏度 3.7cp 硬掩(略) | 28瓶 | CD resolution(分辨率) 0.04um(H) | ||
浸润式感光涂布显影机抗水涂层光刻胶 | 5瓶 | O2 et(略) rate 5.2nm/min | ||
氪氟式感光涂布显影机黏度 6cp 光刻胶 | 31瓶 | Contact Angle 87° | ||
氪氟式感光涂布显影机黏度 9cp 光刻胶 | 27瓶 | NA=0.68,σ=0.75 | ||
氪氟式感光涂布显影机黏度 3.7cp 光刻胶 | 24瓶 | NA=0.68(略).75 | ||
氪氟式感光涂布显影机黏度 2.5cp 光刻胶 | 4瓶 | NA=0.68,σ=0.75 | ||
碳涂层黏度 1.8cp 光刻胶 | 33瓶 | NA=0.68,σ=0.75 | ||
碳涂层黏度 2.1cp 光刻胶 | 33瓶 | O2 etching rate 215nm/min | ||
碳涂层黏度 1.5cp 光刻胶 | 35瓶 | CHF3/CF4 etching rate 90(略) | ||
碳涂层黏度 2cp 光刻胶 | 31瓶 | So(略) Base PGMEA 100% | ||
碳涂层黏度 1.4cp 光刻胶 | 27瓶 | O2 et(略) rate 200nm/min |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:本标书要求投标主办人必须具有12英寸晶圆存储半导体销售或制造光刻胶或化学品项目经验,并提供相关证明文件或由投标人或制造商盖章的自证材料
是否接受联合体投标:(略)
未领购招标文件是否可以参加投标:(略)
4、(略)
招标文件领购开始时间:(略)
招标文件领购结束时间:(略)
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:(略)
招标文件领购地点:**省**市**路****号**国贸大厦
招标文件售价:(略)
其他说明:有兴趣的投标人可从****年9月5日起至****年9月12日止每天9:00-12:00,14:00-17:30在**省**市**路****号**国贸大厦607室向(略)递交投标申请并携带身份证原件、单位介绍信原件和制造商授权书原件(制造商直接参加投标的不需要提供制造商授权书)来购买招标文件(备 注:请先发送电子版报名材料,审核通过后方可缴纳标书费,否则报名无效)
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):(略)
投标文件送达地点:**省**市**路****号**国贸大厦504会议室
开标地点:**省**市**路****号**国贸大厦504会议室
6、投标人在投***上完成注册。评标***公示。
7、联系方式
招标人:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系方式:(略)
招标代理机构:(略)
地址:**省**市**路****号**国贸大厦
联系人:(略)
联系方式:(略)
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国银行(略)*路支行
招标代理机构开户银行(美元):(略)
账号(人民币):(略)
账号(美元):(略)
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