位置>千里马招标网> 招标中心> 西安交通大学-竞价公告(CB106982017005487)
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竞价开始时间: | (略) |
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申购备注: | (略) |
申购(略): |
(略) | 1 | 台 | 金盛微纳 | MS(略) | 否 | 1.必须提供原厂制造商对于本项目出具的签字盖章的唯一原件产品授权书。 2.必须保证货到验收后2年。在开箱后使用过程中发现质量及技术参数出现问题,必须无(略),电话不能解决的,必须在48小时(略)。 3.在西安当地具有完善的售后服务,货到一(略),直至用户熟练操作使用,后续保持24小时内响应; 4.原生产厂商不(略),产品质量获得过ISO或同等质量体系认证。 | 1. 极限真空: 1.0×10-5Pa 2.溅射材料: 各种金属膜、合金膜、介质膜 3. 反应室规格:φ450×350mm 4. 溅射靶规格: φ2英寸 5. 溅射靶数量: 四靶倾斜下置 6. 均匀性: ≤±2% 7. 载片量:4吋单片 8. 样片台可回转,转速可调。 9. 样片衬底可加热, 加热温度≤500℃,可自动控温,测温。 10.溅射形式:可实现单层膜溅射,复合膜溅射,多层膜交替或共溅射等。 11. 真空泵源:分子泵一台(抽速600升/秒); 直联旋片式真空泵一台(抽速9升/秒) 12. 功率源: 射频电源RF****W一套,带自动匹配。直流脉冲电源MC****W一台;直流电源DC****W一台 13. 气路系统:质量流量控制器三个 (管路阀门:进口) 14. 真空测量:复合真空计一台 15.恒压控制系统:薄膜规一个(进口件) 可调节阀一套 16. 自动控制系统一套(含工控机、PLC控制器、触摸显示屏、 控制电路等) | 无 |
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