位置>千里马招标网> 招标中心> 厦门大学电子科学与技术学院高温化学气相沉积系统单一来源采购征求意见公示
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一、采购项目名称:**大学电子科学与技术学院高温化学气相沉积系统
二、预算金额:(略)
三、拟定供应商名单:(略)
四、单一来源方式采购理由:
我校拟采购一套高温化学气相沉积系统,用于开展第三代半导体工艺实训、第三代半导体材料与器件研发的特殊需求。因科研应用需要,该设备需可实现大尺寸、高均匀性、低缺陷密度的高质量SiC单晶薄膜材料的高速外延生长,以满足SiC功率电子器件、紫外单光子探测器、极深紫外探测器及软X射线探测器等第三代半导体电子、光电子器件研发对材料晶体质量的日益增长的需求,同时为第三代半导体工艺实训子平台提供大量基础核心材料。此外,该设备还需具备高效率、高稳定性、高可靠性、易操作、低能耗、外延尺寸灵活可调等特点,以实现大批量的博士研究生、企业技术骨干等高端人才的外延生长工艺实训。经用户前期调研,目前国内外只有意大利LPE品牌可满足使用需求,该公司在中国办事处为(略),本项目采购符合单一性。
五、联系人(略)
张老师 (略)-607
地址:**市思明南路422号**大学颂恩楼711
**大学招投标中心
(略)
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