位置>千里马招标网> 招标中心> 中芯绍兴IGBT模组生产线项目第二十一批设备——化学机械抛光机国际招标公告(...
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1、招标条件
项目概况:(略)计划为中芯绍兴IGBT模组生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:(略)
(略)的说明:(略)
2、招标内容
招标项目编号:(略)/01
招标项目名称:中芯绍兴IGBT模组生产线项目第二十一批设备——化学机械抛光机
项目实施地点:(略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要(略) | 备注 |
1 | 化学机械抛光机 | 1 | 化学研磨抛光晶圆 | / |
2 | 金属刻蚀机 | 2 | 实现wafer上铝金属刻蚀 | |
3 | 中束流离子注入机 | 1 | 实现阳离(略),达到总剂量,厚度分布及均(略) | |
4 | 化学(略) | 1 | 晶圆镀膜 | |
5 | 缺陷检测仪 | 1 | 实现0.2um 级别DFI de(略) scan | |
6 | 晶圆清洗机W.S. Solvent PR strip | 1 | 1.实现55纳米级别清洗 2.使用化学品对氧化层进行刻蚀以达到需要的厚度和均匀性 | |
7 | 晶圆清洗机W.S. STD clean | 1 | 1.实现55纳米级别清洗 2.使用化学品对晶圆表面进行清洗以达到需要的要求 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2)投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:(略)
未领购招标文件是否可以参加投标:(略)
4、(略)
招标文件领购开始时间:(略)
招标文件领购结束时间:(略)
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:(略)
招标文件领购地点:(略)恒达大厦16楼(略)
招标文件售价:(略)
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):(略)
投标文件送达地点:(略)
开标地点:(略)
6、投标人在投标前应在_(http://(略)com)或机电产品招标投标电子交易平台(http://(略)com)完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:(略)
地址:(略)绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
联系人:(略)
联系方式:+86-(略)-****
招标代理机构:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系方式:(略)
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
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