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东南大学 - 竞价结果公告 (CB(略))
发布单位:东南大学 发布时间:****-05-25 阅读量:33次
基本信息:
申购单号:CB(略) 申购主题:PECVD管式炉系统 采购单位:东南大学 竞价开始时间:****-05-12 竞价截至时间:****-05-18 币种:人民币
(略) 送货时间:合同签订后7天内送达 安装要求:免费上门安装(含材料费) 收货地址:******
付款方式:(略)
1.该项目有定制产品,不接受标准品报价,避免报价中标后不符合要求;2.本项目由于急于应用,因此送货时间要求比较紧张,建议慎重考虑是否在规定时间内能够完成后再报价;3.报价价格包括将货物运至东南大学的运费、安装调试与培训等一切费用;4.供应商限**地区;5.所有仪器如不能通过验收,采购人有权利拒收或退货;6.送货上楼,厂家工程师提供验货安装调试和培训,并提供维护;7:(略)
质疑说明:
如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果:
采购项:PECVD管式炉系统 品牌:**科晶 单项预算:0.00 成交单价:161,210.00
质保及售后服务:
自仪器(略),整机保修期:1年。培训服务(使用过程给予的培训次数):除去装机培训之外,保修期内每(略)。在保修期内,属产品质量问题所发生的一切费用由供方负担。提供技术支持,在接到买方仪器报修通知后,在2小时内予以应答,并在24小时内(略),保证仪器的正常工作。供方在**必须具有专业的维修工程师,能有效保证售后维修服务。
技术参数:
技术参数配置:
(1):
加热系统,最高温度****℃,小于60分钟,可连续工作温度****-****℃;输入电源208-240V,功率1.2KW;炉膛保温材料采用进口高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及**仪器的使用寿命;炉管采用高纯石英管φ50*****m(略)±1℃)@****℃,样品实测温度与仪表显示温度≤5℃;不锈钢法兰带自动泄压功能,炉管内压力高于0.3Mpa可自动泄压。壳体温度<60℃,开门后自动断电可最大程度上保(略)配合等离子体射频电源,可控制薄膜的应力。真空法兰采用316材质,左端法兰上安装有KF-25真空波纹管和1/4软管接头和不锈钢针阀。法兰具有保温功能,可避免样品冷却和堵塞,整机所有部件均经CE认证。
等离子体射频电源系统,射出功率:5-300W可调,稳定性:±1%;射频电源频率:13.56Mhz,稳定性±0.005%,最大反向功率:200W,自动匹配,射频电源电子(略):50Ω,N型半导体,阴极;噪声:<50db,采用风冷的冷却方式,电源:208-240VAC,50/60Hz,所有部件均经CE认证。
真空系统:电源:AC(略) 50hz 1/2HP 375W;2Liter/S;出气端安装有油雾过滤器,并可直观的观察出气速率和软管是否堵塞情况;真空度:10-2tor;噪声:<56db。
供气系统:供电电源: 185~245V/50Hz;最大功耗: 18W;量程范围: ** 1: 1~99 .9SCCM,** 2: 1~199 SCCM ,** 3: 1~499 SCCM ,工作环境温度: 5~45 ?C ,最大耐压: 3x106 Pa,重复精度: ±1% FS ;压力量程范围:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid);混气室:Φ80X120mm;尺寸:600x600x600 mm;针阀:316不锈钢;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便;采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作;所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。各**的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上,RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制,所有部件均经CE认证。
气路要求:
气体气源为国标(略)150公斤标准气瓶,主体设备有:一级控压(略)。
氩气 单瓶供气,独立出口,1/4英制不锈钢管道
氮气 单瓶供气,独立出口,1/4英制不锈钢管道
氢气 单瓶供气,独立出口,1/4英制不锈钢管道
乙烯 单瓶供气,独立出口,1/4英(略)
管道设计:1/(略)气体种类、浓度等标识。
2/所有40L钢瓶均采用钢瓶固定架(阻燃ABS材质)固定,防止钢瓶倒落。
3/因涉及气体较多,含腐蚀气体、有毒气体、可燃气体、助燃气体、高纯气体,因此管道采用SS-316L不锈钢管,BA级内外抛光处理,保证气体的纯度。接头和阀门主体采用SUS316不锈钢,根据不同气体类型选用不同密封材料,减压阀关键部位(例如弹簧)采用进口部件,卡套螺帽采用镀银处理,可重复使用。充分(略)。
4/所有与钢瓶连接的高压管部分采用不锈钢软管,便于钢瓶的更换连接。软管的钢瓶接头与所有钢瓶阀一一对应,防止混接,确保安全。
5/所有(略),防止气瓶更换使用时将盘管内的空气带入主供气管路,确保供气系统不受到空气的污染。
6/系统中所有的控制阀采用国产膜片阀,耐压高,对气体不会造成颗粒的污染。
7/本系统所有气源压力控制面板设有安全阀,确保系统压力安全使用,保护仪器。
8/吹扫气路(略),方便采用(略)。吹扫气路系统同时能实现余气排放功能。可燃气体不应与含氧气体公用排放管,对于可燃气体应在排放管末端设置回火防止器,防止(略),确保安全。
9/系统中可燃气体的控制面板设有回火防止器。
10/本系统所有管道连接完毕后,采用氮气进行耐压强度试验,采用氦气进行泄漏检测。
11/气体管路在铺设过程中做到横平竖直,为保证管道走线的直线度和管道间的间距,每间隔一定距离应设置一组管卡。卡具由阻(略),美观**。尽量减少管路弯曲以防止被传输的气体压力、流量损失过大。压力管道拐弯应(略),设计合适的拐弯半径,弯曲部位不能有皱折及扭曲。弯曲半径和弯曲质量由专用工具保证。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。
12/本系统氩气末端采用二次减压系统,所有二次减压器安装在用气仪器附近墙面的上,方便操作维护,美观**。二次减压器系统的出口连接尺寸与仪器设备气体入口处尺寸一一对应。二次减压阀能保证仪器的使用压力不受其他仪器的影响,输出稳定。同时末端配有不锈钢球阀,可以(略),在仪器不用时可关闭气体来源,方便后期(略)。
13/ 配管时的每根管道每个管件均要用高压的高纯氮气(纯度99.999%)进行吹扫才能接入系统,整个系统安装完毕后还要用高纯氮进行大流量气体吹扫,以确保系统的洁净度即流出的气体无油脂及明显的固体颗粒物流出。
14/同一气种、不同浓度的气体应集中、顺序摆放,以利于查找及操作;
15/气瓶间内存放的气体应按国家规定必须分类分库存放。
16/本系统中的所有管道穿过墙体的位置采用套管,间隙用不可燃的材料进行填充。
配件清单:
序号 产品名称 型号规格 单位 数量
1 一级减压阀 全不锈钢316L,BA级别(走高纯气,内抛光,表面(略). 4),钢瓶指示(略),出气端指示压力0-0.16Mpa 套 4
2 高压金属波纹管 GPS-36一端接指定钢瓶(不含钢瓶接头),另一端接一级减压阀(1/4NPT),内部洁净,耐压****PS 根 4
3 气瓶接头 316L-G5/8 套 3
4 气瓶接头 316L-W21.8 套 1
5 双外丝接头 全不锈钢316L,BA级别,1/4NPT 套 4
6 转换接头 1/4卡套转1/4NPT 套 8
7 报警探头 探头(可燃) 套 1
8 阻火器 1/(略),无泄漏,气体(略):1*10-9(略)(BA级), 耐压****psi 个 1
9 球阀 材质SS-316L.尺寸1/4OD”,耐压****PSI 个 4
10 防爆气瓶柜 双瓶 不带报警 个 1
11 防爆气瓶柜 双瓶 带报警 个 1
12 小计:
13 终端球阀 1/4OD”,无泄漏,气体检漏漏率:1*10-9cc/S内抛光(BA级), 耐压****psi 个 4
14 1/4OD”不锈钢管道 1/(略) ,316SS不锈钢无缝管,无擦伤,适于弯曲和扩口,表面光洁,管道经过光亮退火(BA级),超声波清洗,内外抛光 米 30
施工要求:
1统气体管路的连接采用无缝焊接技术,只有连接到阀门和压力调节装置时,才可以使用相关压力配件。
5.2.2气体管路管(略).5米,所有弯曲处都要分别在两侧独立进行支撑气体管路所用管线支架采用气体管路专用铝制支架(30mm*30mm),最大(略)。(提供管道固定集成样品)
5.2.3直线型终端(略)(宽30mm,高40mm,厚10mm,)固定盘面上方 (提供调压阀盘面固定集成样品,包含不锈钢面板、管道球阀、固定面板)
5.2.4气体管道不和电缆、导电线路同架敷设,弯管采用专用弯管器操作,切管采用专用切管器操作。
5.2.5所有管路沿天花板下面布设。引入实验室的各种气体管道支管宜明敷,管线横平竖直。调压阀门盘面固定高度为墙面离地1.5m。
5.2.6仪器工作台上要求均匀的排放各种气体的出口点。
5.2.7气体管路都要(略),同时(略)。
2.2.8气路包括尾气处理部分,保证操作人员安全和环境卫生。
1
(略) 成交供应商:**淳寅嘉生物科技有限公司https://(略)com/#/auction/detail/e6fc(略)c2b5f(略)
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