位置>千里马招标网> 招标中心> 紫外接近接触式光刻机(ZBZXJJ20201016)采购公告
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符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
要求提供并上传URE-****/35光刻机的生产或代理资质证明 (必选)
品牌中国科学院光电技术研究所型号URE-****/35预算¥ 215,000.00技术参数及配置要求曝光面积:(略)
曝光波长:(略)
★分辨力:(略)
对准精度:(略)
掩模样片整体运动范围:(略)
掩模尺寸:(略)
样片尺寸:直径10mm-- 100mm(各种不规则片)
厚度可适应0.1mm--6mm(最大可(略))
曝光方式:(略)
★具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
照明不均匀性: (略)
★双目(略):既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍,物镜三对:4倍、10倍、20倍,目镜三对:10倍、16倍、20倍
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和曝光间隙
★具备压印模块接口,也具备接近模块接口
掩模相对于样(略):
X: (略)
最大焦厚:(略)
光源平行性:(略)
★曝光能量密度:(略)
单层曝光一键完成
采用(略)
汞灯功率:(略)
配置
(1)曝光头
冷光椭球镜
350W进口直流高压汞灯(进口)
XYZ汞灯调节台
冷却风扇
光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片(略)
(2)对准工件台
掩模样片整体运动台
掩模样片相对运动台
转动台
样片调平机构,自动完成
基片(略)
样片(略),电机自动调
承片台4个:15mm 、2英寸、3英寸、(略)
掩模夹4个:(略)
(3)电控系统
汞灯触发电源(35(略))
控制系统
控制柜桌
(4)气动系统
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
电磁阀驱动
气动仪表
(5)其他附件
真空泵一台
空压机一台
管道
(6)技术资料
使用维修说明书售后服务质保期:(略)
四
注册会员享贴心服务
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