位置>千里马招标网> 招标中心> 紫外接近接触式光刻机(ZBZXJJ20201016)采购公告
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紫外接(略) | 项目编号ZBZXJJ(略) | |
****-12-17 16:(略) | 公告截止日期****-12-22 17:00:00 | |
**大学 | 付款方式进口设备: 甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后,将进口项目货款支付给代理公司指定的银行账户,项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后,按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。 国产设备:甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项,乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。 | |
中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话中标后在我参与的项目中查看 | |
到货时间要求 | 成交后(略) | |
¥ (略) | ||
增值税普通发票 增值(略) | ||
**大学**校(略) | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 ; 要求提供并上传URE-****/35光刻机的生产或代理资质证明 (必选) | ||
单面光刻机 | 1 | 台 | 光学仪器 无 无 |
中国科学院光电技术研究所 |
URE-(略) |
¥ (略) |
曝光面积:(略) 曝光波长:(略) ★分辨力:(略) 对准精度:(略) 掩模样片整体运动范围:(略) 掩模尺寸:(略) 样片尺寸:直径10mm-- 100mm(各种不规则片) 厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为15mm) 曝光方式:(略) ★具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能 照明不均匀性: (略) ★双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电(略),物镜三对:4倍、10倍、20倍,目镜三对:10倍、16倍、20倍 调平接触压力通过传感器保证重复 数字设定对准间隙和曝光间隙 ★具(略),也具备接近模块接口 掩模相对于样片运动行程: X: (略) 最大焦厚:(略) 光源平行性:(略) ★曝光能量密度:(略) 单层曝光一键完成 采用球气浮自动找平 汞灯功率:(略) 配置 (1)曝光头 冷光椭球镜 350W进口直流高压汞灯(进口) XYZ汞灯调节台 冷却风扇 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2 (2)对准工件台 掩模样片整体运动台 掩模样片相对运动台 转动台 样片调平机构,自动完成 基片抽拉式上下机构 样片调焦机构,电机自动调 承片台4个:15mm 、2英寸、3英寸、(略) 掩模夹4个:(略) (3)电控系统 汞灯触发电源(35(略)) 控制系统 控制柜桌 (4)气动系统 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 电磁阀驱动 气动仪表 (5)其他附件 真空泵一台 空压机一台 管道 (6)技术资料 使用(略) |
质保期:(略) |
**大学
****-12-17 16:(略)
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