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设备品目类别 | 仪器设备 | 设备用途 | 科研 | ||||||||||||||||
项目号 | HW(略) | 是否批量报价 | 总价最低成交 | ||||||||||||||||
竞价开始时间 | (略)1:52:21 | 竞价结束时间 | ****-01-14 11:52:00 | ||||||||||||||||
交货时间 | 结果公布后30天 | 交货地点 | 华南理工大学五山校区 | ||||||||||||||||
产品类型 | ****** | 结算货币 | 人民币 | ||||||||||||||||
贷款支付方式 | 1、验收合格后用户凭发票报账付清全额货款 |
商品名称 | 紫外光刻机 | 品牌/厂家 | IOE/中国科学院光电技术研究所 | ||||||||||||||||
型号 | URE-****/35L | 数量 | 1 | ||||||||||||||||
计量单位 | 台 | 本商品预算单价(元) | ****** | ||||||||||||||||
保修年限 | 1年 | ||||||||||||||||||
技术指标 | ? 曝光面积:4英寸? 曝光波长:365nm? 分辨力:0.8μm-1μm? 对准精度:±0. 6μm? 掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm? 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸? 样片尺寸:直径Ф10mm-- Ф100mm(各种不规则片),厚度可适应0.1mm--6mm(最大可扩展为15mm)? 曝光方式:定时(倒计时方式)或定剂量? 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能? 双目双视场对准显微镜:可通过目镜目视对准,也可通过CCD+显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学+电子放大800倍,物镜三对:4倍、10倍、20倍,目镜三对:10倍、16倍、20倍? 调平接触压力通过传感器保证重复? 数字设定对准间隙和曝光间隙? 具备压印模块接口,也具备接近模块接口? 掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?? 最大焦厚:400nm(SU8胶,用户提供检测条件)? 光源平行性:2.5 ?? 曝光能量密度:>45mW/cm?? 单层曝光一键完成? 采用球气浮自动找平? 照明不均匀性: ±2.5%( Ф100mm范围);? 曝光光源:紫外LED; | ||||||||||||||||||
安装(略) | 对提供产品实行至少1年质保期和永久的跟踪维护服务。设备技术响应时间在2小时内,现场技术支持响应时间在24小时内,72小时内排除设备故障;质保期满后负责长期按成本价提供所需配件 | ||||||||||||||||||
附件 | 无 |
http://(略)cn/notices/****
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