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****年01月20日 11:(略)
(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | A(略)-其他电工、电子专用生产设备 |
采购需求概况 : | 名称:(略) 数量:一套(包含多种小功能license,license组合后用于完成EUV/DUV 的 OPC/SMO工作)。 需求功能是:完成DUV 光刻以及 EUV光刻的OPC 和SMO仿真功能。 OPC和SMO都是用来挖掘光刻机极限性能,保证光刻质量的重要光刻工艺/技术,需要通过相应的OPC/SMO仿真软件进行仿真得出优化过后的掩模和光源,交付掩模厂制造掩模,调节光源成为优化后的光源,最后将光源和掩模组合起来一起进行生产。上文提到的exel 列表在不同的license搭配使用下,可以完成 相应的DUV/EUV OPC/SMO工作。除此之外,软件通过放大其中一部分license的数量,主要是分布式计算的license的数量,可以处理不同规模的芯片。安装后能够完整地完成DUV/EUV OPC/SMO流程。 服务、安全、时限三个方面待完善。 |
预计(略): | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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