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****年10月13日 10:(略)
电子与信息工程学院介质化学机械研磨机采购项目 | |
项目(略): | |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 电子与信息工程学院介质化学机械研磨机采购项目 |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | 介质化学机械研磨机,1套。该设备用于8英寸及以下晶圆片上氮化硅、氧化硅层的研磨工艺;技术要求:一、加工晶圆直径为8英寸及以下;8英寸样品抛光后的粗糙度(Ra)小于等于0.5纳米,均匀度(TTV)小于等于2%;二、可进行大马士革抛光工艺;三、设备配置和要求:1、抛光盘:耐酸碱材质构成,可正反向旋转,盘转速不超过160rpm;2、双路抛光液供应泵,抛光液流速范围:20~500ml/min;3、配备8英寸工作头,并可配置小于8英寸的规则和不规则小片的夹持器具,可拆换。可升级为同时加工两片8英寸晶圆。工作头转速:10~125pm;工作头压力范围最大:9psi(对于8inch晶圆),工作头带环压控制技术(0~9psi)保证边缘均匀性(4mm以内);4、往复式修整装置:不锈钢材质,耐受PH值范围为PH2~PH13;5、包含标配监测系统,包含:摩擦系数、电机/盘负载、左右抛光头电机负载、左右抛光头电机电流、左右抛光头旋转速度(频率)、通过红外感应器测量抛光垫/抛光液/晶片界面温度、离盘废液温度、曲线上下极限设置等;6、控制系统:程序化自动控制,可存储加工数据;7、设备整体具备完整外罩和稳定支撑系统,易维护并防止环境对试验的影响;8、提供工作头、夹持器具、研磨抛光布、slurry等耗材供应。9、配备仪器性能状态自动监控系统,能够实现远程控制。10、电源:220~240v 13Amax;11、噪音:小于30分贝;12、最佳工作温度和湿度:15~25度,40~70%RH;13、重量和尺寸:柜式,重量小于500kg,尺寸小于**********781mm;14、厂务配套需要氮气、压缩空气、去离子水、抛光液等,占地面积约3平方米;交付时间要求:合同签订后15个月;交付地点要求:(略)东校区纳米楼;售后服务要求(含培训):1、保证产品到达之后各项功能完好无损; 2、设备到货后,由卖方、买方共同开箱验货;3、卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符;4、卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试,在系统整体调试完成,满足合同签订的技术指标,买方认为合格后,签订系统安装验收报告;5、卖方应在设备到货前一个月,对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。6、仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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