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****年11月30日 23:(略)
(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | 拟采购(略)一台,主要技术参数: 1 镀膜室内切圆直径为≥800mm,高≥800mm;共6个靶位,2个大矩形靶位,4个小圆形靶位;主材不锈钢304制造; 2 24小时极限真空优于8×10-4Pa,漏率小于0.5Pa/h,室温空载下从大气到8×10-3Pa在20min之内; 3 具备高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)功能,可实现HiPIMS多种靶材共溅射,制备多元复合涂层; 4 具备阳极层离子源辅助沉积功能,提高结合力,进而实现大型工件复杂表面涂层的均匀制备; 5 具备至少4路气体通路,可实现多种气体混合溅射沉积; 6 实现全自动程序控制,精确控制镀膜工艺。 7工件转动系统可以实现公转+自转,单独自转,角度可调,正反可调。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情(略)。
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