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| 电子束蒸发设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 电子束蒸发设备 |
| 预算金额: | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
电子束蒸发设备广泛应用于金属电极、刻蚀掩膜以及反射镜等所需金属薄膜的制备,是半导体光电子、微电子、MEMS器件制备中的重要基础工艺设备。本次拟采购的电子束蒸发在设备极限真空、薄膜均匀性以及薄膜台阶覆盖性方面都具备较强的技术优势,是平台现有设备的重要补充,通过本次设备的购置,增加电子束蒸发工艺的加工能力。
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| 预计采购时间: | 2024-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写