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紫外光刻机（清采比选20240118号）采购公告

公告-招标公告

北京 -北京

发布时间： 2024年05月07日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

紫外光

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

紫外光刻机	****
2024-05-07 08:25:20	2024-05-14 09:00:00
****	合同签订后50%，验收合格后50%

	签订合同后120个工作日内
￥ 380000.00




市**刘卿楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

紫外光刻机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 380000.00

1.曝光样品尺寸：4英寸，单面对准； 2.曝光光强：≥30mW/cm2； 3. 分辨率：1μm（胶厚1μm的胶）； 4. 对准精度：正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸：5寸； 6.掩模样片整体运动范围：X:6mm；Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程：X:±5mm；Y:±5mm；θ:±5度 8.照明均匀性：≥97%（Ф100mm范围） 9. 样品厚度：0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制)； 10. 曝光波长：365nm（UV LED光源） 11. 曝光方式：接触式曝光，定时（计时方式0.1s—3000.0s）配套系统和设备： 1.主机（机架、光学平台）光学平台：台面材料：不锈钢，抛光处理；台面平面度：0.05~0.1mm/m2；台面粗糙度：0.8~1.6μm；调平方式：机械进行调平；平台配套脚轮； 2.光源光源类型：UV LED；中心波长：365±5nm；强度：≥30mW/cm2；光照均匀性：≥97%；能量稳定性：≥98%；光强均匀性：<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄）主轴：X轴、Y轴、Z轴、θ轴镜头：X轴、Y轴、Z轴驱动手柄：Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器） 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头：放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源） 6.真空系统(真空吸盘：对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵） 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。

12个月