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多靶磁控溅射镀膜设备
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招标详情
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400-688-2000
| 申购单主题： |
多靶磁控溅射镀膜设备 |
申购单位： |
****学院 |
报价类型： |
国内含税价 |
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| 使用币种： |
人民币 |
公示时间： |
2024-05-16 16:53:25 |
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| 申购备注： |
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| 商品名称 |
品牌厂商 |
型号 |
数量 |
售后服务 |
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| 多靶磁控溅射镀膜设备 |
维科赛斯 |
SMS-400 |
1 |
①产品质保期为一年； ②在质保期内供方将免费维修和更换因设备质量原因造成的零部件损坏； ③在质保期外设备零部件的损坏，提供的配件只收成本费； ④质保期内或质保期外如设备出现故障，供方接到用户的正式通知（含电 话或邮件通知）后，技术人员于 48 小时内，赶到技术服务现场并开始维修； ⑤安排不少于2人的线下培训。 |
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| 规格 |
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| 真空腔室：L400×W400×H450mm（1Cr18Ni9Ti 优质不锈钢），立式方形结构，前开门结构，方便取、放基片、更换靶材以及真空腔室日常维护；采用304优质不锈钢，所有焊缝连接均采用氩弧自动焊接技术，焊接完成后，镀膜腔室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光处理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀； 样品台：尺寸210×210mm，可旋转：0-20r/min可调，配有气动基片台挡板,可从室温加热至300℃；可选配偏压清洗功能； 真空系统：采用机械泵真空系统（RV8，8L/s），真空极限可达5.0×10^-1Pa（加热烘烤条件下）；真空测量采用单电阻真空计； 溅射靶：Φ4英寸2只（含靶挡板），靶角度及靶基距可调，各靶均有水冷（1P），保证各靶长时间稳定工作，兼容直流/射频电源溅射； 溅射电源：2台1000W全自动匹配射频溅射电源； 质量流量计：100sccm、50sccm 质量流量控制器各1套； 控制方式：采用PLC+触摸屏全自动控制系统； 前级阀：GDQ-40b 气动挡板阀；进气阀：Φ6mm，电磁截止阀；放气阀： Φ10mm，电磁截止阀；靶材：铜靶材Φ4英寸 报警及保护：对泵、磁控靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统； |
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招标进度跟踪
2024-05-17
招标公告
多靶磁控溅射镀膜设备
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