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浙江理工大学——一种ZnGa2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法
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正文内容
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资产处置主体
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****（杭****公司 | ||||
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咨询电话
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提交意向后可查看 | ||||
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参考价值
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无 | ||||
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招募时间
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2024年11月27日 - 2025年05月26日 | ||||
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资产类型
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知识产权 | ||||
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流程
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提交意向 洽谈 | ||||
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公告详情
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****——一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法 受科技成果所有方的委托，拟对以下1项成果做先用后转的招商推介，现将有关事项公告如下: 一、标的物：“一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法”成果 二、成果简介 本发明公开了一种Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器及其制备方法，具体是指以c面蓝宝石单晶为衬底，采用磁控溅射生长沿着晶面择优生长的Zn掺杂βGa2O3薄膜(Zn:Ga2O3)作为光吸收层，并在其上溅射Au/Ti叉指电极作为光生载流子的收集电极，制备获得的Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器。本发明通过Zn掺杂提高了Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器的光响应速度，采用在Ga2O3靶材起辉圈周围放置特定数量的Zn颗粒生长特定浓度Zn:Ga2O3薄膜，方法简单。本发明采用商业化的制备方法磁控溅射生长薄膜，工艺可控性强，易操作，所得薄膜表面致密、厚度稳定均一、可大面积制备、重复性好。该发明制备的Zn:Ga2O3薄膜基MSM结构日盲紫外光电探测器在日盲紫外探测领域具有潜在的应用前景。 三、联系电话：0571-****5382。（工作日上午9时~12时，下午2时~5时） |
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更多信息
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补充材料
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报价网址：https://zc-paimai.****.com/zc/mn_detail.htm?id=188422 size=150
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2024-11-28
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