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12寸特色工艺半导体芯片制造生产线技术提升项目

审批

福建-厦门-海沧区

发布时间： 2025年01月16日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0200MA31GA8Q1C	裴华
雷吓玲	**门市区
市区兰英路89号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

12寸特色工艺半导体芯片制造生产线技术提升项目	****

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	**门市区兰英路89号
经度:117.99541 纬度: 24.4827	****环境局
	2024-04-29
厦环审〔2024〕32号	****0200MA31GA8Q1C001U
2024-10-24	1500
600	****
****	******公司
913********7351400	****研究院有限公司
****0211MA8TQCBE7F	2024-10-01
2024-10-25	2024-11-12
2024-12-18	2025-01-15
	https://www.****.org/yanshou/35748.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

技术改造	技术改造
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

不新增芯片生产，将21万片/年的单面化学镀技改为双面化学镀16.8万片/年。	不新增芯片生产，将21万片/年的单面化学镀技改为双面化学镀16.8万片/年。
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、除油→纯水洗→微蚀槽→纯水洗→一次沉锌→纯水洗→酸褪除→纯水洗→二次沉锌→纯水洗→中转槽→镀镍1→镀镍2→纯水洗→镀钯→纯水洗→无氰镀金→纯水洗（或有氰镀金→纯水洗）→IPA清洗→烘干； 2、除油→纯水洗→微蚀槽→纯水洗→一次沉锌→纯水洗→酸褪除→纯水洗→二次沉锌→纯水洗→中转槽→镀镍1→镀镍2→纯水洗→镀钯1→镀钯2→纯水洗→有氰镀金1→纯水洗→有氰镀金2→纯水洗→IPA清洗→烘干。	1、除油→纯水洗→微蚀槽→纯水洗→一次沉锌→纯水洗→酸褪除→纯水洗→二次沉锌→纯水洗→中转槽→镀镍1→镀镍2→纯水洗→镀钯→纯水洗→无氰镀金→纯水洗（或有氰镀金→纯水洗）→IPA清洗→烘干； 2、除油→纯水洗→微蚀槽→纯水洗→一次沉锌→纯水洗→酸褪除→纯水洗→二次沉锌→纯水洗→中转槽→镀镍1→镀镍2→纯水洗→镀钯1→镀钯2→纯水洗→有氰镀金1→纯水洗→有氰镀金2→纯水洗→IPA清洗→烘干。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废水 ①酸碱废水：依托现有工程，设计处理规模6700m3/d，采用“二级酸碱中和反应”处理工艺，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ②含氟废水：依托现有工程：现有已建工程设计处理规模5700m3/d（含工艺尾气处理废水量），此外现有在建工程含氟废水处理能力540m3/d，采用“二级化学沉淀法”处理，现含氟废水由于污染物浓度低，采用“一级化学沉淀法”处理达标后，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ③有机废水：依托现有工程：设计处理规模1800m3/d，采用“二级A/O生化法”处理，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ④含镍废水：依托现有工程：设计处理规模120m3/d，采用两级化学混凝沉淀+回收系统处理，尾水→含氟废水处理系统 ⑤含钯金废水：依托现有工程：设计处理规模30m3/d，采用两级树脂吸附法处理，尾水→含氟废水处理系统； ⑥含氰废水：本次新增，设计处理规模60m3/d，采用两级破氰工艺，尾水→含氟废水处理系统； ⑦回收水：依托现有工程，采用“活性炭过滤+RO反渗透装置”工艺，上清液回用于初纯水系统，尾水→酸碱废水处理系统。 2、废气 ①酸性废气：依托现有工程酸性废气处理设施； ②有机废气：有机废气处理设施依托现有工程； ③碱性废气：碱性废气处理设施依托现有工程 ④含氰废气：新增1套两级破氰洗涤塔，风机风量20000m3/h，1根排气筒至楼顶，直径700mm，高40m（DA004）； ⑤废水处理站废气：废水处理站废气处理设施依托现有工程； ⑥员工食堂油烟：油烟废气处理设施依托现有工程； ⑦一般排气：一般排气依托现有工程。 3、噪声：项目通过墙体隔声、减振等措施来降低噪声对周边环境的影响。 4、固废：项目产生的主要固废为生活垃圾、一般工业固废和危险废物。生活垃圾集中收集后，交由环卫部门统一清运；一般工业固废经统一分****公司回收利用；危险废物经收集后暂存在危废暂存间，定期委托有资质单位处置。 5、环境风险：事故应急池等依托现有工程，项目建成后，应根据项目情况修订突发环境事件应急预案并报生态环境主管部门备案。 6、土壤及地下水污染防治措施：厂区地面硬化、防渗、防腐，三级防控。	1、废水 ①酸碱废水：依托现有工程，设计处理规模6700m3/d，采用“二级酸碱中和反应”处理工艺，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ②含氟废水：依托现有工程：现有工程设计处理规模6240m3/d（含工艺尾气处理废水量），采用“二级化学沉淀法”处理，现含氟废水由于污染物浓度低，采用“一级化学沉淀法”处理达标后，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ③有机废水：依托现有工程：设计处理规模1800m3/d，采用“二级A/O生化法”处理，尾水→最终pH调节池→废水总排口； ④含镍废水：依托现有工程：设计处理规模120m3/d，采用两级化学混凝沉淀+回收系统处理，尾水→含氟废水处理系统 ⑤含钯金废水：依托现有工程：设计处理规模30m3/d，采用两级树脂吸附法处理，尾水→含氟废水处理系统； ⑥含氰废水：本次新增，设计处理规模60m3/d，采用两级破氰工艺，尾水→含氟废水处理系统； ⑦回收水：依托现有工程，采用“活性炭过滤+RO反渗透装置”工艺，上清液回用于初纯水系统，尾水→酸碱废水处理系统； ⑧金回收：新增1套二级树脂吸附装置。 2、废气 ①酸性废气：依托现有工程酸性废气处理设施：依托现有工程酸性废气处理设施：8套喷淋洗涤塔，每套风机风量75000m3/h；4根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478201、FQ-480301、FQ-480302、FQ-202251-1）； ②有机废气：有机废气处理设施依托现有工程：1套转轮浓缩+焚烧工艺，风机风量70000m3/h，备用1套活性炭吸附装置，风机风量70000m3/h；1根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478203）； ③碱性废气：碱性废气处理设施依托现有工程：碱性废气处理设施依托现有工程：3套喷淋洗涤塔（3用），每套风机风量70000m3/h；2根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478206、FQ-480303）； ④含氰废气：新增1套两级破氰洗涤塔，风机风量20000m3/h，1根排气筒至楼顶，直径700mm，高40m（FQ-202437）； ⑤废水处理站废气：废水处理站废气处理设施依托现有工程：废水处理站废气依托现有工程：1套两级喷淋除臭装置，风机风量21000m3/h；1根排气筒至废水站楼顶，直径为600mm，高30m（FQ-478208）； ⑥员工食堂油烟：油烟废气处理设施依托现有工程：油烟废气处理设施依托现有工程：3套油烟净化器，引至屋面排放，排气筒高度约17m（FQ-**0029-1，FQ-0029-2，FQ-0029-3）； ⑦一般排气：一般排气依托现有工程：一般排气依托现有工程：6套车间一般热气排气系统（5用1备），风机风量85000m3/h×6（5用1备），6根排气筒（5用1备）至楼顶，直径1150mm，高30m。 3、噪声：项目通过墙体隔声、减振等措施来降低噪声对周边环境的影响。 4、固废：项目产生的主要固废为生活垃圾、一般工业固废和危险废物。生活垃圾集中收集后，交由环卫部门统一清运；一般工业固废经统一分公司回收利用；危险废物经收集后暂存在危废暂存间，定期委托有资质单位处置。 5、环境风险：事故应急池等依托现有工程，已修订编制了《突发环境事件应急预案》（SLJK-HJYJ-HC-202401版），该预案于2024年12月10日通过专家评审，并于2024年12月30**生态环境局备案，备案编号350205-2024-040-M。 6、土壤及地下水污染防治措施：厂区地面硬化、防渗、防腐，三级防控。
1、废水：新增1套二级树脂吸附金回收装置，金回收后废液和吸附树脂仍作为危险废物委托有资质单位处置，无新增废水、废气污染物排放。 2、废气：由于新增年产30万片IGBT功率器件芯片扩产项目尚未建成，其拟配套新增的酸性废气处理设施2套碱液喷淋洗涤塔、有机废气处理设施1套转轮浓缩+焚烧工艺、碱性废气处理设施1套酸液喷淋洗涤塔和4套车间一般热气排气系统尚未建成，该废气设施也属于本项目依托的废气处理设施。****公司车间生产废气分别经各类废气主管收集后分流引入相应废气处理设施处理，各类废气处理设施属于并联使用。虽然新增年产30万片IGBT功率器件芯片扩产项目配套的废气处理设施尚未建成，但是本项目废气依托现有已建废气处理设施处理仍可达标排放。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年） SS(吨/年) 总氰化物(吨/年) 氟化物(吨/年) 总镍(吨/年) 总锌(吨/年) 废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）氰化氢(吨/年) 硫酸雾(吨/年) 氨气(吨/年) 硫化氢(吨/年)

0	432.2161	553.0431	432.216	432.216
0	168.5643	2765.216	168.564	168.564
0	8.2553	248.869	8.255	8.255
0	2.1179	43.278	2.118	2.118
0	39.591	387.13	39.591	39.591
0	38.8994	2212.172	38.899	38.899
0	0.052	0.052	0.052	0.052
0	23.5126	108.195	23.513	23.513
0	0.006	0.006	0.006	0.006
0	0.077	0.077	0.077	0.077
0	0	0	0	0	/
1.714	0	4.9523	1.714	0	/
8.192	0.5346	13.2048	8.727	0.535	/
0.331	0	0.331	0.331	0	/
4.062	0.0589	6.5503	4.121	0.059	/
0	0.0001	0.0001	0	0	/
3.516	0.0241	9.9606	3.54	0.024	/
13.564	0.0049	16.1326	13.569	0.005	/
0.236	0	0.2459	0.236	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

生产区污水处理设施、生活区污水处理设施

项目生产区废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020），生活区污水COD、BOD5、SS、动植物油等执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准，氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B级标准。

本项目生活区食堂废水经隔油池处理后，与其他生活污水一起再经三级化粪池处理后排入市政污水管网；本项目生产区生活污水排入有机废水处理系统进一步处理；本项目生产废水包括酸碱废水、含氟废水、有机废水、含镍废水、含钯金废水和含氰金废水。本项目新增一套含氰金废水处理设施，其余废水处理设施均依托现有工程废水处理设施。酸碱废水采用“二级酸碱中和反应”处理工艺；含氟废水采用“二级化学沉淀法”处理工艺，现含氟废水由于污染物浓度低，采用“一级化学沉淀法”处理工艺；有机废水处理系统采用“二级生化系统”处理工艺；含镍废水采用“二级化学混凝+回收系统”处理工艺；含钯金废水采用“两级树脂吸附法”处理工艺；含氰金废水采用“两级破氰”处理工艺。项目生****处理站处理达标后排入市政污水管网纳入**水质净化厂深度处理。

厂区含镍废水设施排放口总镍0.08-0.10mg/L，****处理站总排口pH：7.0、COD20-39mg/L、BOD54.4-9.5mg/L、氨氮1.29-1.91mg/L、SS7-9mg/L、总磷0.39-0.49mg/L、总氮7.69-9.16mg/L、总氰化物<0.004mg/L、总锌<0.05mg/L、氟化物4.72-5.44mg/L。总镍排放浓度能满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）半导体器件间接排放设施排放口限值要求，pH、COD、氨氮、SS、总磷、总氮、总氰化物、总锌、氟化物排放浓度满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）半导体器件间接排放限值要求，BOD5排放浓度满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4三级标准要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

酸性废气处理设施、有机废气处理设施、碱性废气处理设施、含氰废气处理设施、废水处理站废气处理设施、员工食堂油烟废气处理设施、一般排气设施

项目废气“二氧化硫、氮氧化物、硫酸雾”执行《**市大气污染物排放标准》(DB 35/323-2018)表1标准，“非甲烷总烃”执行《**市大气污染物排放标准》(DB 35/323-2018)表2、表3标准；含氰废气中的“氢氰酸”参照《电镀污染物排放标准》（GB 21900-2008）表5排放标准；工艺****处理站排放的氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）。

①酸性废气：依托现有工程酸性废气处理设施：依托现有工程酸性废气处理设施：8套喷淋洗涤塔，每套风机风量75000m3/h；4根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478201、FQ-480301、FQ-480302、FQ-202251-1）； ②有机废气：有机废气处理设施依托现有工程：1套转轮浓缩+焚烧工艺，风机风量70000m3/h，备用1套活性炭吸附装置，风机风量70000m3/h；1根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478203）； ③碱性废气：碱性废气处理设施依托现有工程：碱性废气处理设施依托现有工程：3套喷淋洗涤塔（3用），每套风机风量70000m3/h；2根排气筒至楼顶，直径2000mm，高40m（FQ-478206、FQ-480303）； ④含氰废气：新增1套两级破氰洗涤塔，风机风量20000m3/h，1根排气筒至楼顶，直径700mm，高40m（FQ-202437）； ⑤废水处理站废气：废水处理站废气处理设施依托现有工程：废水处理站废气依托现有工程：1套两级喷淋除臭装置，风机风量21000m3/h；1根排气筒至废水站楼顶，直径为600mm，高30m（FQ-478208）； ⑥员工食堂油烟：油烟废气处理设施依托现有工程：油烟废气处理设施依托现有工程：3套油烟净化器，引至屋面排放，排气筒高度约17m（FQ-****0029-1，FQ-****0029-2，FQ-****0029-3）； ⑦一般排气：一般排气依托现有工程：一般排气依托现有工程：6套车间一般热气排气系统（5用1备），风机风量85000m3/h×6（5用1备），6根排气筒（5用1备）至楼顶，直径1150mm，高30m。

本项目1#楼酸性废气处理设施FQ-478201硫酸雾有组织排放浓度为<0.2mg/m3，氮氧化物有组织排放浓度为<3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为<20mg/m3；1#楼酸性废气处理设施FQ-480301硫酸雾有组织排放浓度为<0.2mg/m3，氮氧化物有组织排放浓度为<3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为<20mg/m3；1#楼酸性废气处理设施FQ-480302硫酸雾有组织排放浓度为<0.2mg/m3，氮氧化物有组织排放浓度为<3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为<20mg/m3；1#楼酸性废气处理设施FQ-202251-1硫酸雾有组织排放浓度为<0.2mg/m3，氮氧化物有组织排放浓度为<3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为<20mg/m3；1#楼有机废气处理设施FQ-478203二氧化硫有组织排放浓度为＜3mg/m3、氮氧化物有组织排放浓度为＜3mg/m3，颗粒物有组织排放浓度为＜20mg/m3，非甲烷总烃有组织排放浓度为3.4-5.59mg/m3，排放速率为0.276-0.454kg/h；1#楼碱性废气处理设施FQ-478206氨气有组织排放浓度为0.54-0.72mg/m3，排放速率为0.015-0.022kg/h；1#楼碱性废气处理设施FQ-480303氨气有组织排放浓度为0.64-0.81mg/m3，排放速率为0.04-0.056kg/h；1#楼含氰废气处理设施DA004氰化氢有组织排放浓度为<0.09mg/m3；污水处理站废气氨气有组织排放浓度为0.71-0.81mg/m3、排放速率为0.0085-0.010kg/h，硫化氢有组织排放浓度均为0.4-0.58mg/m3、排放速率为0.0047-0.007kg/h，臭气浓度最大值为478。项目生产废气硫酸雾、氮氧化物、颗粒物、二氧化硫、非甲烷总烃等均满足《**市大气污染物排放标准》(DB 35/323-2018)表1、表2标准要求，氰化氢满足《电镀污染物排放标准》（GB 21900-2008）表5标准要求；工艺****处理站排放的氨、硫化氢、臭气浓度均满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）要求。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔声减振措施

项目北侧临近次干道**三路，执行4类标准；其余各厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中的3类标准

项目通过墙体隔声、减振等措施来降低噪声对周边环境的影响

该项目北侧厂界噪声各监测点昼间噪声值范围为59~61dB（A），夜间噪声值范围52dB（A）；其余各厂界噪声各监测点昼间噪声值范围为56~62dB（A），夜间噪声值范围50~53dB（A）。项目北侧厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）4类标准限值（昼间≤70dB（A），夜间≤55 dB（A））要求，其余各厂界噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中3类区标准限值（昼间≤65dB（A），夜间≤55 dB（A））要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

厂区地面硬化、防渗、防腐，三级防控

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目产生的主要固废为生活垃圾、一般工业固废和危险废物。生活垃圾集中收集后，交由环卫部门统一清运；一般工业固废经统一分****公司回收利用；危险废物经收集后暂存在危废暂存间，定期委托有资质单位处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

事故应急池等依托现有工程，项目建成后，应根据项目情况修订突发环境事件应急预案并报生态环境主管部门备案。

事故应急池等依托现有工程，****已修订编制了《****突发环境事件应急预案》（SLJK-HJYJ-HC-202401版），该预案于2024年12月10日通过专家评审，并于2024年12月30****生态环境局备案，备案编号350205-2024-040-M。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程