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宁波合盛新材料有限公司年产2万片宽禁带半导体碳化硅衬底及外延片产业化生产线项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0282MA2CHBTE34 | 建设单位法人：罗立国 |
| 黄延旺 | 建设单位所在行政区划：**省**市**市 |
| **市周巷镇周西公路1999-9号 |
建设项目基本信息
| ****年产2万片宽禁带半导体碳化硅衬底及外延片产业化生产线项目 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别（国民经济代码）：C-C-制造业 |
| 建设地点： | **省**市**市 周巷镇周西公路1999-9号 |
| 经度:121.13857 纬度: 30.22398 | ****机关：****环境局****分局 |
| 环评批复时间： | 2021-11-09 |
| 慈环建〔2021〕214号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2025-03-06 | 项目实际总投资(万元)：12230 |
| 159 | 运营单位名称：**** |
| ****0282MA2CHBTE34 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0282MA2CHBTE34 | 验收监测单位：浙****公司 |
| ****0201MA2GR4P535 | 竣工时间：2024-10-09 |
| 2024-11-04 | 调试结束时间：2025-04-28 |
| 2025-05-03 | 验收报告公开结束时间：2025-06-13 |
| 验收报告公开载体： | http://www.****.com/?mod=gongshi |
2、工程变动信息
项目性质
| 扩建 | 实际建设情况：扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 2万片6英寸碳化硅同质外延片 | 实际建设情况：2万片6英寸碳化硅同质外延片 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 碳粉纯化、原料制备，碳化硅晶体生长、切割、晶片加工及检测，SiC同质外延工艺 | 实际建设情况：碳粉纯化、原料制备，碳化硅晶体生长、切割、晶片加工及检测，SiC同质外延工艺 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| （1）材料清洗废气、涂胶固化废气在车间内无组织逸散，采用排气换气系统净化车间环境。 （2）煤油挥发废气、酸碱清洗挥发的氨、经油烟净化装置处理后的切割油挥发废气一同并入酸液喷淋塔净化处理，该废气处理装置审批总风量为6000m3/h，处理达标后经由同一根15m高排气筒（DA001）排放。 （3）酸碱清洗挥发酸雾、加热纯化废气、经吸附式Scrubber装置处理后SiC外延生长尾气一同并入碱液喷淋塔净化处理处理，该废气处理装置审批总风量为7000m3/h，处理达标后经由同一根15m高排气筒（DA002）排放。 （4）抽真空废气：抽真空废气经过设备自带油烟收集装置处理，尾气通过一根15m排气筒（DA003）排放，该废气处理装置审批总风量为8000m3/h。 | 实际建设情况：（1）材料清洗废气、涂胶固化废气在车间内无组织逸散，采用排气换气系统净化车间环境。 （2）酸碱清洗挥发酸雾、酸碱清洗挥发的氨、经油烟净化装置处理后的切割油挥发废气、加热纯化废气、经吸附式Scrubber装置处理后SiC外延生长尾气一同并入碱液喷淋塔净化处理处理，该废气处理装置实际总风量为9000m3/h，处理达标后经由同一根15m高排气筒（DA001）排放。 （3）抽真空废气：抽真空废气经过设备自带油烟收集装置处理，尾气通过一根15m排气筒（DA002）排放，该废气处理装置实际总风量为10000m3/h。 |
| 对比原环评及批复建设要求，本项目煤油清洗生产工艺取消，对应的煤油清洗废气不产生，酸碱清洗挥发的氨及切割油挥发废气处理方式发生变化，其余废气处理方式均与环评一致。 原环评酸碱清洗挥发的氨经酸液喷淋塔处理后排放，现因酸碱清洗机为一体式清洗机，无法对氨水清洗槽单独收集，因此本项目清洗过程中挥发的氨气汇同酸性废气一并汇总入酸性工艺废气处理设施的主管道，经碱液喷淋塔净化处理。因本项目氨水使用量极少，且水对氨气有一定吸收去除效果，对照《排污许可证申请与核发技术规范 电子工业（HJ 1031—2019）》，碱液喷淋洗涤吸收法去除酸碱废气中的氨为可行技术，因此废气处理装置变更后对酸碱清洗挥发的氨处理效果效果影响极小。 切割油挥发废气原环评收集后经油烟净化装置处理后进酸液喷淋塔净化处理，现收集后经油烟净化装置处理后进碱液喷淋塔净化处理，酸碱喷淋对切割油挥发废气去除效率相似，因此废气处理装置变更后对切割油挥发废气处理效果效果影响极小。 | 是否属于重大变动：|
其他
| / | 实际建设情况：/ |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.492 | 0.5021 | 0 | 0.492 | 0.492 | 0 | |
| 0 | 0.197 | 0.201 | 0 | 0.197 | 0.197 | 0 | |
| 0 | 0.014 | 0.014 | 0 | 0.014 | 0.014 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.312 | 0.555 | 0 | 0.312 | 0.312 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 污水处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值（其中氨氮执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）） | 处理能力为50t/d****处理站 | 监测期间（2025年1月15日、2025年1月18日），项目生产废****处理站处理后，出水水质中pH(范围）、COD、SS、石油类、氟化物、LAS最大日均浓度均满《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）中的表1水污染物排放限值，氨氮最大日均值满足《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013))。。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碱液喷淋塔 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）“新污染源大气污染物排放限值”二级标准、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中相关浓度限值 | 酸碱清洗挥发酸雾、酸碱清洗挥发的氨、经油烟净化装置处理后的切割油挥发废气、加热纯化废气、经吸附式Scrubber装置处理后SiC外延生长尾气一同并入碱液喷淋塔净化处理，该废气处理装置实际总风量为9000m3/h，处理达标后经由同一根15m高排气筒（DA001）排放。 | 验收监测期间（2025年1月14日~15日），本项目加热纯化废气、酸碱清洗工艺产生的酸性废气、酸碱清洗工艺产生的碱性废气收集后经碱液喷淋塔净化处理处理，切割油挥发废气收集后经油烟净化装置处理后进碱液喷淋塔净化处理，SiC外延生长尾气经吸附式Scrubber装置处理后进碱液喷淋塔净化处理，处理达标后经由同一根15m高排气筒（DA001）排放，DA001非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢、氟化物、氯气排放浓度及排放速率最大值均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）“新污染源大气污染物排放限值”二级标准，氨气、臭气浓度的排放速率最大值满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中相关浓度限值；抽真空废气经过设备自带油烟收集装置处理，尾气通过一根15m排气筒（DA002）排放 | |
| 2 | 油烟收集装置 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）“新污染源大气污染物排放限值”二级标准 | 抽真空废气经过设备自带油烟收集装置处理，尾气通过一根15m排气筒（DA002）排放，该废气处理装置实际总风量为10000m3/h。 | 抽真空废气经过设备自带油烟收集装置处理，尾气通过一根15m排气筒（DA002）排放，DA002非甲烷总烃排放浓度及排放速率最大值满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）“新污染源大气污染物排放限值”二级标准。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | ①在设计和设备采购阶段，充分选用先进的低噪设备，如选用低噪的风机、空压机、泵等，以从声源上降低设备本身噪声； ②在声源的布局上，将高噪声的生产车间布置在厂区中部，将噪声大的设备设置在车间中央，以减轻噪声对厂界的影响。 | 根据监测结果，验收监测期间企业正常生产情况下，企业厂界昼、夜间噪声均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的3类标准。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 加强固废污染防治。根据国家和地方的有 关规定，按照“减量化、**化、无害化” 原则，对固体废物进行分类收集、利用和 处置，确保不造成二次污染。废擦拭抹布、 废氢氧化钾、废磨泥、废矿物油、废煤油、 废碱液、废化学品包装物、废油桶和污水 处理站污泥等属于危险废物，按《危险废 物贮存污染控制标准》（GB18597-2001） 及其修改单（环保部公告 2013 年第 36 号） 等要求设置危废贮存场所，定期委托有资 质的危险废物处置单位作安全处置，并执 行危险废物转移联单制度。 | 企 业实际不产生废煤油，废擦拭抹布、废氢氧 化钾、废磨泥、废矿物油、废碱液、废化学 品包装物、****处理站污泥、废活 性炭、废过滤材料、废 RO 膜、废吸附剂经 收集后交由**诺威尔新泽环保科技有限公 司进行安全转运；废石墨坩埚盖、石墨坩埚、 废石墨毡生外售给回收单位回收利用；废原 料包装物委托相关单位统一清运处置；生活 垃圾定点收集，由当地环卫部门统一清运处 理。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 加强日常环境风险管理。规范编制风险事 故应急预案，加强对危险化学品运输、装 卸、贮存、使用等环节的管理，健全环境 应急设施，采取并切实有效的防范措施， 避免环境风险事故的发生。 | 企业已经编制并更新了《突发环境事件应急预案》，该预案已于2023年11月23****环境局**分局备案(备案编号:330282-2023-155-L)。该应急预案包含本次验收项目，预案中确定了重大危险源，****指挥部的组成、职责和分工，不同程度污染事故的应急响应程序、应急预案、应急监测和应急物资等也制定了应急监测方案及环保设施事故的应急预案，符合相关法律、法规、规章、标准和编制导则等规定。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
环保搬迁
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
区域削减
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
功能置换
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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