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【分散采购备案单】光子晶体激光器委托加工(二次)
招标详情
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【分散采购备案单】光子晶体激光器委托加工(二次)
发布日期：2025-11-26
项目概况
| 项目名称 | 光子晶体激光器委托加工(二次) | 项目编号 | **** |
| 开始时间 | 2025-11-26 16:27 | 结束时间 | 2025-12-01 16:27 |
| 供应商资格要求 | 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | 250000.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购服务信息列表
| 1 | 光子晶体激光器委托加工 | 1 | 批 | 250000 | ||
| 技术参数 | 光子晶体激光器（2寸）整体制备的工艺技术参数和测试表征要求 1.Hard mask：根据实验实际情况确定厚度 2.临时键合在8寸衬底上 / 3.DUV光刻：约190nm CD 图形（可根据实际调整） 4.Hark mask刻蚀图形化：约190nm CD 图形（可根据实际调整） 5.InP基材料外延：立柱状，p型，多量子阱，n型等材料外延 6.流片工艺，永久键合：根据版图，商议确定具体工艺路线和指标（旋涂PMMA介质，PECVD 激光出光面开口，金属化） 7.表征：OM、SEM、PL、EDS 8.测试：I-V、L-I、E-L | |||||
| 相关材料 | 光子晶体激光器委托加工项目技术指标****1015V1.docx | |||||
附件（1）
光子晶体激光器委托加工项目技术指标20251015V1.docx下载预览
招标进度跟踪
2025-11-26
重新招标
【分散采购备案单】光子晶体激光器委托加工(二次)
当前信息
2025-11-11
2025-11-10
2025-10-28
流标公告
光子晶体激光器委托加工采购失败
2025-10-20
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