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内蒙古大学薄膜沉积系统采购更正公告

变更-信息变更

内蒙古 -呼和浩特

发布时间： 2026年05月22日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

大学薄膜采购公告

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

薄膜沉积系统	****
2026-05-19 10:40:37	2026-05-27 12:00:00
****	货到验收合格后付款

	签订合同后3个工作日内
￥260000.00




****北校区卓越楼112
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

薄膜沉积系统

台

其他真空获得及应用设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

******公司

PD-400S

￥ 260000.00

真空腔室：尺寸（长宽高）不小于400×400×450mm；真空系统：分子泵+前级泵极限真空：优于3.0×10-5Pa 抽速时间：≤20min（从大气抽至大气压到 5x10-4Pa，手套箱环境）基片台：基片尺寸 8 寸。带水冷功能，配气动基片大挡板；样品台可旋转0-30转/分钟蒸发源：不少于4组蒸发源，各源物理隔离，均有独立水冷套及独立挡板；各蒸发源上方须配备气动驱动、水平打开式挡板膜厚监控：测量周期：0.1 ～ 1.0 s（可调）；速率最低显示： 0.01 /s；厚度最低显示：0.01 ﹒ 精度：厚度/速率典型 ±0.5%；存储容量：100 个工艺、1000 个膜层、50 个膜系﹒ 控制模式：顺序沉积、共沉积（SQC310C 支持）、速率 / 厚度闭环、定时 / 功率控制﹒ 报警：厚度 / 速率超限、晶振失效、源故障、功率超限操控系统：PLC+触摸屏手动/自动一体操控系统，具备声光报警和急停功能，真空系统的控制分为手动和自动两种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；

技术支持:7x24小时;保修期:终身;服务响应时限:报修后48小时;质保期:一年;培训要求:培训一次;是否含税:国产含税;