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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********260584E | 建设单位法人:李水波 |
| 魏哲 | 建设单位所在行政区划:**省**市**市 |
| **省**市陆家镇**西路22号 |
| ****半导体设备核心铝制模组扩建项目(第一阶段) | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:067-金属表面处理及热处理加工 | 行业类别(国民经济代码):C3562-C3562-半导体器件专用设备制造 |
| 建设地点: | ******市 ******市 |
| 经度:121.031111 纬度: 31.328333 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2023-04-27 |
| 苏环建〔2023〕83第0156号 | 本工程排污许可证编号:913********260584E001V |
| 项目实际总投资(万元): | 12000 |
| 350 | 运营单位名称:**** |
| 913********260584E | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 913********260584E | 验收监测单位:******公司 |
| ****0583MA1XJK9N2R | 竣工时间:2025-12-03 |
| 调试结束时间: | |
| 2026-05-11 | 验收报告公开结束时间:2026-06-05 |
| 验收报告公开载体: | http://www.****.com/ |
| 扩建 | 实际建设情况:扩建 |
| / | 是否属于重大变动:|
| 年产半导体设备核心铝制模组500万件,包括机加工件50万件/a、阳极氧化件400万件/a以及化学清洗件50万件/av | 实际建设情况:年产半导体设备核心铝制模组300万件,包括机加工件50万件/a、阳极氧化件200万件/a以及化学清洗件50万件/a |
| 第一阶段仅建设一条阳极氧化线,还有一条阳极氧化线目前暂未建设 | 是否属于重大变动:|
| (1)机械加工工艺流程:铝合金棒材、板材、管材—切割—精密机加工—超声波清洗—焊接—打磨—喷砂(去阳极氧化线或化学清洗线)—清洗—测试—机加工产品; (2)阳极氧化工艺流程:机加工铝合金件—超声波热脱脂—清洗—碱洗—清洗—除灰—清洗—化学抛光—清洗—除灰—清洗—阳极氧化—清洗—表调—清洗—染色—清洗—封孔—清洗—除灰—封孔清洗—除灰—清洗—热清洗—烘干—检验—阳极氧化产品; (3)化学清洗工艺流程:机加工铝合金件—脱脂—清洗—酸蚀—清洗—酸洗—清洗—高压清洗+氮气吹扫—无尘室清洗—氮气吹干—烘干—检验—包装出货 | 实际建设情况:与环评一致 |
| 生产工艺未发生变化,本项目第一阶段仅建设一条阳极氧化线 | 是否属于重大变动:|
| 1废水:本项目厂内排水按“雨、污分流”制实施。本项目生活污水经市政污水****处理厂处理;厂区含氟废水经物化处理+MVR蒸发系统处理,蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,含氟废水零排放;一般氮磷废水经物化处理+MVR蒸发系统处理后,蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,氮磷废水零排放;一般生****处理站处理后(原有1套+**1套)部分回用于生产线,其余处理达标后经市政****处理厂。2废气:本项目阳极氧化线产生的酸性废气收集后通过新增1套两级碱喷淋吸附装置处理,1个25m排气筒排放;化学清洗线产生的酸性废气收集后通过新增1套两级碱喷淋吸附装置,1个25m排气筒排放;喷砂工序依托现有喷砂房、现有的喷砂设备进行,喷砂过程产生的粉尘废气依托现有“旋风+滤筒除尘”装置处理,经20m高排气筒排放(依托现有);焊接烟尘经烟尘净化器处理后无组织排放,切削液使用产生的有机废气均有雾净化器处理后无组织排放,打磨粉尘通过湿式除尘装置处理无组织排放。3噪声:本项目噪声源主要为机加工设备等设备正常运行时产生,主要采取隔声、消声措施,噪声源经厂房建筑物衰减等措施,降低对周围环境的影响。4固废:一般固废外售综合利用;危****公司处理;生活垃圾由环卫部门统一清运。5本项目依托厂区已建成一般固废仓库(1处)面积190m2、蒸发浓液储槽(1处)容积45m3以及危废仓库(1处,位于D栋厂房)面积200m2;6危险废物贮存场所地面需做防腐防渗处理;危险废物需定期交由有危险废物处理处置资质的单位转移处理,存放周期不得超过1年;危险废物暂存间设置明显的标志,并由专人管理,出入库应当进行核查登记,并定期检查。 | 实际建设情况:1废水:本项目厂内排水按“雨、污分流”制实施。本项目生活污水经市政污水****处理厂处理;厂区含氟废水经物化处理+MVR蒸发系统处理,蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,含氟废水零排放;一般氮磷废水经物化处理+MVR蒸发系统处理后,蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,氮磷废水零排放;一般生****处理站处理后(原有1套+**1套)部分回用于生产线,其余处理达标后经市政****处理厂。2废气:本项目阳极氧化线产生的酸性废气收集后通过新增1套两级碱喷淋吸附装置处理,1个25m排气筒排放;化学清洗线产生的酸性废气收集后通过新增1套两级碱喷淋吸附装置,1个25m排气筒排放;喷砂工序依托现有喷砂房、现有的喷砂设备进行,喷砂过程产生的粉尘废气依托现有“旋风+滤筒除尘”装置处理,经1个20m高排气筒排放(依托现有);焊接烟尘经烟尘净化器处理后无组织排放,切削液使用产生的有机废气均有雾净化器处理后无组织排放,打磨粉尘通过湿式除尘装置处理无组织排放。3、噪声:本项目噪声源主要为机加工设备等设备正常运行时产生,主要采取隔声、消声措施,噪声源经厂房建筑物衰减等措施,降低对周围环境的影响。4危险废物:废切削液委托常****公司处置;RO膜等过滤材料、酸性脱脂废液、碱洗废液、除灰废液、抛光废液、阳极氧化废液、表调废液、染色废液、封孔废液、脱脂废液、废酸液、废酸液委托**市**区固****公司处置;水处理污泥委托******公司处置;废包装桶委托**市****公司处置;蒸发浓缩液委托**洁****公司、******公司处置;一般工业固废:焊渣、粉尘、废玻璃砂、废滤筒、湿式除尘污泥、废过滤器等一般固废委托**科****公司处置;生活垃圾委托环卫部门定期清运,所有固废均妥善处置。5****公司**一般固废仓库(1处,位于E栋厂房)占地面积280m2以及危废仓库(1处,位于E栋厂房)占地面积280m2、蒸发浓液储槽(1处)容积45m3;6危险废物贮存场所地面需做防腐防渗处理;危险废物需定期交由有危险废物处理处置资质的单位转移处理,存放周期不得超过1年;危险废物暂存间设置明显的标志,并由专人管理,出入库应当进行核查登记,并定期检查。 |
| 2023年11月,建设单位申报了“****半导体设备集成模组零件生产项目”(在本项目申报之后),****公司**一般固废仓库(1处,位于E栋厂房)占地面积280m2以及危废仓库(1处,位于E栋厂房)占地面积280m2,本项目依托**的危废仓库及****公司现有已建成45m3储槽。 | 是否属于重大变动:|
| / | 实际建设情况:/ |
| / | 是否属于重大变动:|
| 43350 | 56484 | 99834 | 0 | 0 | 99834 | 56484 | |
| 2.834 | 3.729 | 6.563 | 0 | 0 | 6.563 | 3.729 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0.391 | 0.021 | 0.199 | 0.213 | 0 | 0.199 | -0.192 | / |
| 2.436 | 0.033 | 0 | 0 | 0 | 2.469 | 0.033 | / |
| 0 | 0.064 | 0 | 0 | 0 | 0.064 | 0.064 | / |
| 0.045 | 0 | 0.027 | 0.018 | 0 | 0.027 | -0.018 | / |
| 0.853 | 0.449 | 0.961 | 0.341 | 0 | 0.961 | 0.108 | / |
| 1 | 含氟废水处理系统 | 含氟废水经物化处理+MVR蒸发系统处理,蒸发冷凝水回用于生产线, MVR蒸发浓缩浓液委外处理,含氟废水零排放。 | 含氟废水处理系统 | 含氟废水经物化处理+MVR蒸发系统处理,蒸发冷凝水回用于生产线, MVR蒸发浓缩浓液委外处理,含氟废水零排放。 | |
| 2 | 氮磷废水处理系统 | 氮磷废水经物化处理+MVR蒸发系统处理, 蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,氮磷废水零排放。 | 氮磷废水处理系统 | 氮磷废水经物化处理+MVR蒸发系统处理, 蒸发冷凝水回用于生产线,MVR蒸发浓缩浓液委外处理,氮磷废水零排放。 | |
| 3 | 一般生产废水处理系统 | 《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中表4一级标准、《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)表3 | 一般生产废水处理系统 | 满足《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中表4一级标准、《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)表3 |
| 1 | 阳极氧化废气处理设施 | 《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1 | 二级碱液喷淋塔 | 满足《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1 | |
| 2 | 化学清洗废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 二级碱液喷淋塔 | 满足《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | |
| 3 | 喷砂废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 旋风+滤筒除尘 | 满足《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | |
| 4 | 焊接废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 烟尘净化装置 | 满足《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | |
| 5 | 机加工废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 油雾净化装置 | 满足《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | |
| 6 | 打磨废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) | 湿式(水吸收)除尘 | 满足《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021) |
| 1 | 隔声、消声、距离衰减等措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3、4a类声功能区标准 | 隔声、消声、距离衰减等措施 | 东、西、北厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类声功能区标准;南厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)4a类声功能区标准 |
| 1 | 固体废弃物必须妥善处置或利用,不得排放。危险废物必须委托具备危险废物处理经营许可证的单位进行处理,并执行危险废物转移联单。 | ****公司**的一般固废仓库280m2(1处)和危险固废暂存场所280m2(1处)。一般工业固废焊渣、粉尘、废玻璃砂、废滤筒、湿式除尘污泥、废过滤器等一般固废委托**科****公司处置。危险固废切削液委托常****公司处置;RO膜等过滤材料、酸性脱脂废液、碱洗废液、除灰废液、抛光废液、阳极氧化废液、表调废液、染色废液、封孔废液、脱脂废液、废酸液、废酸液委托**市**区固****公司处置;水处理污泥委托******公司处置;废包装桶委托**市****公司处置;蒸发浓缩液委托**洁****公司、******公司处置。生活垃圾,委托环卫部门统一清运。本项目产生的各种固体废物均得到妥善处理/处置,不会造成二次污染,对厂内外环境影响较小。 |
| 1 | 企业需设置容积约300m3的事故应急池,配套设置导流沟、事故废水截留装置。 | 建设容积约695m3的事故应急池,配套设置导流沟、事故废水截留装置 |
| / | 验收阶段落实情况:/ |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |