位置>千里马招标网> 招标中心> 上海华力集成电路制造有限公司快速热退火(硅化物)设备国际招标澄清或变更公告(...
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2、满足12(略)求,用于尖峰快速退火 快速热退火设备
3、满足12英寸集成电路生产企业的28n(略)(硅化物)设备
(略)nm工艺研发和量产要求,用于原位水蒸气生成氧化设备
5、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于原(略)(浅沟槽隔离衬垫生长)设备
6、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于去藕合电(略)
7、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备
(略)受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于(略)***发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:1、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于快速热退火 快速热氧化设备
2、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于尖峰快速退火 快速热退火设备
3、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于快速热退火(硅化物)设备
4、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于原(略)
(略)和量产要求,用于原位水蒸气生成氧化层(浅沟(略))设备
6、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于去藕合电离子体氮化&氮化後退火设备
7、满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备求
资金到位或资金来源落实情况:(略)
项目已具备招标条件的说明:(略)
2、招标内容
招标项目编号:(略)
招标项目名称:(略)
项目实施地点:(略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 快速热退火 快速热氧化设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于快速热退火 快速热氧化设备 | |
2 | 尖峰快速退火 快速热退火设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于尖峰快速退火 快速热退火设备 | |
3 | 快速热退火(硅化物)设备 | 1台 | 满足12英寸集(略),用于快速热退火(硅化物)设备 | |
4 | 原位水蒸气生成氧化层设备 | 1台 | 满足12英寸(略),用于原位水蒸气生成氧化设备 | |
5 | 原位水蒸气生成氧化层(浅沟槽隔离衬垫生长)设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于原位水蒸气生成氧化层(浅沟槽隔离衬垫生长)设备 | |
6 | 去藕合电离子体氮化&氮化後退火设备 | 2台 | 满足1(略),用于去藕合电离子体氮化&氮化後退火设备 | |
7 | 等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于等离子体增强原子层氧化硅薄膜化学气相沉积设备 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人应为符合《中华人民**国招标投标法》规定的独立法人或其他组织;
2)投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货和安装调试经验;
3) 法律、(略)。
是否接受联合体投标:(略)
未领购招标文件是否可以参加投标:(略)
4、(略)
招标文件领购开始时间:(略)
招标文件领购结束时间:(略)
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:(略)
招标文件领购地点:**市长寿路285号恒达广场16楼((略))
招标文件售价:(略)
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):(略)
投标文件送达地点:**市长寿路285号恒达广场16楼((略))
开标地点:**市长寿路285号恒达广场16楼((略))
6、投(略)。评标***公示。
7、联系方式
招标人:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系方式:(略)
招标代理机构:(略)
地址:**市长寿路285号恒达广场16楼((略))
联系人:(略)
联系方式:(略)
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):(略)
招标代理机构开户银行(美元):(略)
账号(人民币):(略)
账号(美元):(略)
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