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机械与运载工程学院的离子束溅射沉积设备拟进行单一来源采购,现将有关事项公告如下:
一、采购项目名称
离子束溅射沉积设备
二、拟采购货物的说明及预算
(一)拟采购货物的说明
功能:采用离子束溅射沉积设备可(略),能够实现超低温镀膜功能,可满足光学超材料、微纳力学结构、(略)
技术参数:
极限真空度:≤8.5×10-5Pa(无冷阱、不烘烤),系统真空检漏漏率:≤6.67×10(略)
系统从大气(暴露大气时充干燥氮气)开始抽气,40分钟内可达到真空度5×10-4 Pa;
一次工艺实验样片装载量:(略)
沉积均匀性:采用4寸样品,沉积100nm,片内测试5个点,要求片内均匀性≤±3%,批次间均匀性≤±3%;
样品台台面直径:≥110mm,可安装直径为4英寸样品一片,并向下兼容;
台面温度:样品台可选常规模式或超低温冷却模式,常规模式下冷却温度5~25℃,超低温冷却模式下最低温度-120℃;
标准溅射角度:(略)
离子能量和束流时间稳定度RMS值小于±1%;
真空室内置水冷结构,长时间工作的温度≤20℃;
配置水冷离子源室,冷却温度为15℃;
配置两套考夫曼(略),聚焦束溅射离子源(主源)口径为Φ100mm,准直束离子源(辅源)口径Φ70mm;
(二)预算
预算金额:(略)
三、采用单一来源采购方式的原因及相关说明
为了满足部分样品超低温镀膜的工艺需求,此次所购买的离子束溅射沉积设备必须满足可在最低温-120℃的环境配置,且离子能量和束流时间稳定度RMS值须小于±1%,且镀膜均匀性须≤±3%,经前期调研,仅(略)提供的离子束溅射沉积设备能够同时满足上述技术参数指标的设备,符合《中华人民共和国政府采购法》第三章第三十一条第一款之规定(只能从唯一供应商处采购的),故申请采用单一来源方式采购。
四、拟定的唯一供应商名称、地址及联系方式、邮箱等
供应商名称:(略)
供应商地址:(略)
联系人:(略)
联系方式:(略)
邮箱:(略)
五、(略):自20(略),共计(略)。任何供应商、单位或个人对采用单一来源方式公告有异议的,可以向采购管理部门以书面形式实名反映。
六、用户和采购管理部门名称、联系人和联系方式
1、用户:(略)
联系人:段辉高,联系电话:(略)
2.采购管理部门名称:(略)
地址:(略)
联系人:彭择令、郑银华,联系电话:(略)
****年11月14日
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