位置>千里马招标网> 招标中心> 重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告
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教学专用仪器 配置要求:高真空镀膜仪(略)ACE 600主要功能:通过金属溅射方式,可对样品表面进行均匀的金属镀膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察;通过碳丝蒸发镀膜,可对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察及能谱/波谱分析,或者为铜网表面覆碳支持膜。主要参数:1.操作参数:1.1 溅射电流:0-150mA,可调。1.2 溅射时间:1-****秒,可调1.3 镀膜终止:可按时间终止;也可根据设定膜厚镀膜过程。1.4工作时气压:Ar, 约1×10-2mbar,工作前真空度需达到5×10-5mbar1.5 工作气体:高纯氩气2. 控制系统2.1 控制器:内置式触摸屏控制面板,2.2 镀膜过程控制:自动镀膜3. 镀膜仪功能3.1 镀膜靶源采用倾角式设计,配置旋转样品台,可使镀膜最均匀。3.2 金属溅射镀膜靶材:金/银/铂金/钨/铜/镍/钛/铝各1块,硅1盒(10片):金/银/钨/铜/镍/钛/铝各1块为(略)产品,铂金和硅1盒(10片)为国产。 3.3 带有石英膜厚监控器,可根据设定膜厚自动终止镀膜,实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm,范围0-****nm。3.4 带有氩气灌洗功能,以去除管路中残留气体,保证样品室内无污染3.5 带有预溅射功能,金属靶带有挡板保护4. 样品室4.1 样品室内径:不小于宽200 × 深150 × 高180 mm4.2 工作距离:30-100mm4.3 工作台控制:马达驱动旋转样品台,4.4工作台:标准工作台:104mm,可插入25个SEM样品座5. 真空系统5.1全无油真空系统:隔膜泵×1+分子泵×15.2 最优真空度:≤2x10-6mbar6 系统维护与清洁:样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都可简易拆卸,清洁。 (略)商品品牌:(略) (略)商品型号:(略) | ||
采购人预算(单价):(略) | 数量:1(件) | 小计(元):(略) |
报价供应商数量: 3
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