位置>千里马招标网> 审批项目> SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目
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备案项目编号 | (略)-35-(略) |
项目名称 | SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目 |
项目所在地 | 佛山市南海区桂城街道三山新城文翰湖北面地块 |
项目总投资 | 48614.0万元 |
项目规模及内容 | 购置晶片传输系统等部件16套,形成SiC外延炉、离子注入机、高温氧化炉、高温激活炉母机和工程机共16台;购进加工检测仪器和软件58台/套,并对现有厂房进行配套条件改造,实现SiC芯片成套装备产业化,年产能为50套。建设期间形成收入3.3亿元,满产后收入20亿元,利润6亿元。 |
建设单位 | 季华实验室 |
备案机关 | 佛山市南海区发展和改革局 |
备案申报日期 | 2020年05月13日 |
复核通过日期 | 2020年05月13日 |
项目起止年限 | 2020年05月01日 - 2023 |
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