位置>千里马招标网> 招标中心> 中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--光刻显影设备国际招标公告(1)
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- 项目编号: (略)/17
- 公告类型: 招标公告
- 招标方式: 国际公开
- 截止时间: (略):00
- 招标机构: (略)
- 招标地区: **省
- 招标产品: 晶圆工艺生产线
- 所属行业: ;电子电工制造设备;
1、(略)
项目概况:(略)计划为中芯**特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:(略)
项目已具备招标条件的说明:(略)
2、招标内容
招标项目编号:(略)/17
招标项目名称:中芯**特种晶圆工艺生产线项目第三十批--光刻显影设备
项目实施地点:(略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 低压(略) | 1 | 利用SIH4和PH3 共同做一下生成(略) | / |
2 | 低压退火设备 | 1 | 实现鼓(略),修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
3 | 硼磷(略) | 1 | 实现硼磷氧化扩散,均匀性好 | / |
4 | 氮化硅生长机 | 1 | 实现氮化硅生长,均匀性好 | / |
5 | 非掺(略) | 1 | 实现非掺**晶硅生长,修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
6 | 氧化物薄膜生长机 | 3 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
7 | 栅氧(略) | 2 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
8 | 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 | 1 | PEOX/(略) Dep | / |
9 | 基于硅(略) | 1 | PEOX/SIN Dep | / |
10 | 基于TEOS的化学气相沉积 | 1 | TEOS Dep | / |
11 | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
12 | 次常(略) | 1 | SACVD Dep | / |
13 | 离子束去平机 | 1 | 金属膜离子束去平 | / |
14 | 高真空离子镀膜金属溅射机 | 1 | AIN Mo Metal Dep | / |
15 | 物理(略) | 1 | 物理气象沉积/Metal Dep | / |
16 | 光刻胶烘烤设备 | 1 | 实现光刻胶烘烤 | / |
17 | 光刻显影设备 | 1 | 实现光刻显影 | / |
18 | 光刻(略) | 1 | 实现光刻涂布 | / |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2)投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:(略)
未领购招标文件是否可以参加投标:(略)
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:(略)
招标文件领购结束时间:(略)
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:(略)
招标文件领购地点:(略)
招标文件售价:(略)
5、(略)
投标截止时间(开标时间):(略)
投标文件送达地点:(略)
开标地点:(略)
6、投标人在投(略)( )或机电(略)( )完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:(略)
地址:(略)**市越城区皋埠镇**路518号
联系人:(略)
联系方式:(略)
招标代理机构:(略)
地址:(略)
联系人:(略)
联系方式:(略)
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
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