高真空薄膜制备系统（清设比选20211288号）采购公告

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高真空薄膜制备系统（清设比选20211288号）采购公告

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更新时间:

2021年07月26日

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关键信息:

薄膜

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高真空薄膜制备系统（****）采购公告

采购项目名称采购项目编号公告开始时间公告截止时间采购单位付款方式对外联系人联系电话签约时间要求交货时间要求最高限价交货地址供应商特殊资质要求

高真空薄膜制备系统	****
2021-07-26 14:56:49	2021-07-29 15:00:00
****	合同签订后付款60%,验收合格后一周付尾款40%
本项目不接受咨询	本项目不接受咨询
成交后5个工作日 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)	签订合同后75个工作日
未公布
市**逸夫科学技术楼
无

采购清单 1

物资名称采购数量计量单位

高真空薄膜制备系统

台

品牌品牌1 型号品牌2 型号品牌3 型号单价技术参数及配置要求质保期

北****公司

JCP500

￥

（1）真空腔室：直径Ф500mm,前开门结构，立式前开门结构，外表面焊接水冷线，内表面抛光处理，外表面电抛光处理。
（2）真空腔体及真空管道材质：优质不锈钢
（3）真空系统：进口磁悬浮分子泵1台，抽速≥1100L/S；进口涡旋干泵1台，抽速≥8.3L/S；腔体自动恒压系统1套；
（4）系统漏率：停泵12小时候后，真空≤10Pa；
（5）极限真空：≥5.0×10-5Pa
（6）抽速：从大气抽至5.0×10-3Pa≤10min；
（7）基片台:直径Ф150mm，转速0~20转/分钟可调；加热温度：室温至500℃，PID智能温控，可分段加热；
（8）磁控溅射靶：2套进口3英寸磁控溅射靶，可溅射铁磁材料；
（9）溅射电源：进口射频电源1台，功率600W;国产射频电源1台，功率500W;
(10) 质量流量控制器：进口质量流量控制器，流量范围：0~200SCCM（氩气）、0~20SCCM（氧气）、0~100SCCM(氮气）
精度: 满量程的±1.0 %
重复性：满量程的± 0.2%
响应时间：小于50 ms
输出信号：提供RS-485; Modbus RTU (Slave);
（11）电器控制系统：PLC+液晶屏+工控机控制全自动控制，可实现手动及自动控制；
（12）工艺参数：ITO制备电阻10欧姆，透过率≥85%（高透玻璃）；
（13）辅助配件：冷却循环水机1台，空气压缩机1台；

12个月

****

2021-07-26 14:56:49

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