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待竞价详细（ 202****3554）---- ****
| 申购单主题： | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 申购单位： | 化学学院 | 是否含税： | 否 | 使用币种： | 人民币 |
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型售后服务 | ||
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 北 京 微 纳 真 空 | VZZ-300S | 是 | 1 | 国内含税价/人民币 | ||
| 规格 | 真空腔室：Φ300×H450mm 真空极限：优于 3.0×10-5 Pa 抽速：分子泵完全启动，抽至 3.0×10-4Pa≤15min 机械泵：北仪合资TRP-24 直联旋片泵，6L/S 分子泵：中科科仪FF160/620 复合分子泵，600L/S 前级阀：川北真空GDQ-25b，高真空气动挡板阀 充气阀：**华创DJ2C-6，电磁截止阀 数显复合真空计：**睿宝ZDF-5227，一低一高 基片台：最大可镀基片尺寸/面积112×112mm，基片台配有气动挡板，旋转速度0-25 转/分连续可调，光控定位，磁流体密封，基片台背板通冷却循环水强制水冷 蒸发源及电源： 3 组蒸发源，各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源）；2KW真空蒸发专用电源两台；能实现三源依次蒸发以及两源同时蒸发，源间配备隔离挡板 膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪（Inficon，SQM-160）在线监测蒸镀速率、自控膜厚 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作； 基片台水冷组件1套 备品备件：钨舟 10个 ，钼舟20个，高纯铝颗粒10克，钨蓝坩埚组合 3套 ，CF35铜垫圈 3个， 设备上相应规格密封圈、螺栓等紧固件、保险丝 | ||||||
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