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【货物与服务采购】
1. 采购货物有关信息
(1)货物名称:(略)
(2)技术指标:
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | (略) | |
技术参数 | 1、 定制超高真空柱形腔体,腔体顶法兰尺寸为CF400,材质为316L不锈钢,符合超高真空要求的不同尺寸法兰口,外表面电解抛光,真空度优于5×10-9mbar。 2、 配备2套VAT CF150带位置反馈的超高真空气动闸(略) 3、 配备1套真空系统,包含普发700分子泵1台,接口为DN160CF Ed(略) nXDS15i无油涡旋机械泵1台。机械泵和分子泵之间采用超高真空角阀、放气阀和波纹管隔离并且受PLC控制自动开关。 4、 真空测量系统配备英福康皮拉尼规1套,复合全量程真空计2套,电容薄膜真空计1套用于实现真空度的测试,数据值由控制器实时显示。 5、 配备超高真空两(略),包含VAB磁流体旋转以及自动升降波纹管模块。Z轴(略)50mm,0.05mm 精度;R-旋转模块电动模式,旋转范围(绕 Z 轴)360 度,转速 20-50。RPM,0.5°精度;样品台兼容4英寸PLD样品,带主挡板(Main Shutter);配(略),配备一套3英寸纯碳化硅加热盘,配备一体式温控直流电源,可以在氧气氛围(最高100Pa,需工艺证明其具备生长氧化物如BiFeO3的能力,提供生长的氧化物薄膜相关测试结果)内加热至10(略),采用Eu(略)PID控制(略),采用K型热(略)。PC端友好控制软件实现对样品台旋转升降以及温度的精确控制。 6、 腔体底部法兰安装PLD靶台,靶台集成至CF200法兰上,最多可(略)。配备靶台的自转和公转(齿轮转动),以及X轴移动,充分利用靶材,由伺服电机精确控制移动,重复定位误差:±0.05°。配备无油高精密轴承,避免靶台(略)。配备靶台Z1-整体升降模块,行程50mm,实现对靶材的自动抓取。可实现不破坏真空情况由机械手下传输靶材至靶台。靶台之间配备挡板,防止靶材互相污染。 7、 进样室可同时停放4个4英寸样品和6个1英寸的靶材,VAB 100mm自动升降模块控制样品和靶材的选取,真空度半小时内(略),配备一套普发80分子泵,10i机械泵一套。配备超高真空角阀、放气阀以及波纹管,PLC自动控制。配备英福康全量程真空计1套,UHV Transfer 900mm行程手动传样杆一个。 8、 配备三路Horiba 100sccm质量流量计实现Ar,O2,N2的进气,每路气路配备混气管和富士金气动隔膜阀实现气路的隔离和保护。软件自动控制进(略),方便在高温退(略)。 9、 烘烤系统,配备7米加热带和1个烘烤控制器,可以实(略)。LED真空照明,配备1个控制器和4个LED等,配套线缆。19寸机柜1个,铜垫片及螺丝螺母若干。支撑框架为高强度铝合金支架,根据系统结构定制,大滚轮,便于移动,可锁定,不易晃动。用电设备输入电标准:220V AC50Hz 或者380V AC 50Hz; 10、 控制系统采用工控机和PLC作为控制单元,配备串口服务器实现串口的控制。PLC自动控制泵组启停,实现硬件互锁,保证系统稳定运行,PLC配置UPS,断电时软件自动保护,可以实(略)。通信线缆实现各个控制单元与控制系统的连接。PC和PLC实现互通,软件可以实现镀膜过程的手动和自动控制,并且可以实现系统报警状态监控,可实(略),用户管理,工艺菜单管理,电源保护,交叉(略)。配备继电器模块实现切换器等的自动控制。配备**,方便用户判断设备状态。 11、 安装调试:在仪器到达前1~2个月,中标人应通知用户水、电、气及其他仪器必备辅助设施的具体要求,从而让用户提前做好仪器安装准备。中标人应在收到用户通知后4周内派遣制造商的技术人员前往用户指定地点进行安装调试。中标人负责系(略)。培训服务:必须(略)员进行全面系统的培训,包括设备基本原理、设备安全及注意事项、设备操作、工艺流程、样品制备演示、设备基本维护及远程技术支持演示。售后服务:自双方现场验收合格,主机及配套设备保修期2年,保修期内提供全免费保修,包括零配件费用、人工费用、差旅费用等费用均由中标人承担。易耗易损品不在免费维修更换服务范围内。维修(略):对相关的技术故障能在48小时内及时进行响应,并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除;若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题:供方工程师5个工作日上门检修。免费保修期后,中标人提供终身维修及技术服务,保证零配件的供应,零配件价格享有中标价同等折扣;若某些零部件供应商停止生产,中标人有义务协调各方提供替代解决方案。 |
(3)数量:
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | (略) | 1套 |
(4)交货期:(略)
(5)交货地点:**航空航(略)
6)是否接受进口产品:是
2、采购预算(最高限价): (略)
3、参选单位资格要求:
(1)在中华人民**国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
(2)响应人(供应商)应具备《中华人民**国政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独(略)
② 具有良好的(略)
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(3)本项目不接受联合体响应;
(4)本项目不允许转包、分包;
(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得(略)
(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间:
报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱。截止报名时间:****年5(略)。
5、竞价会时间及方式:
时间:****(略),竞价会形式:鉴于(略),采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料:
5月27日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:
地址:(略)
张昆 老师收,手机号:(略)
7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):
张昆 老师,邮箱:zhang_kun@(略)cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):
邵老师,或010-****(上午9点-11:(略)
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