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发布时间:2022-06-14
一、项目名称:高真空多靶磁控溅射镀膜系统
二、项目编号:****
三、采购人:****
地址:**省**市东环路50号**楼0904室
邮编:215021 传真:0512-****5076
联系人:罗老师 电话:0512-****4198,****4359
电子邮箱:lrb998@suda.****.cn
技术联系人:杨老师 电话:158****0478
电子邮箱:xbyang@suda.****.cn
四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
高真空多靶磁控溅射镀膜系统 1套
(一)主要技术要求
1.真空腔体:Ф500mm×420mm (H),304优质不锈钢制造;
2.真空系统:采用采用“分子泵+机械泵”真空系统;机械泵抽速不小于9l/s;分子泵抽速不小于1200l/s;
3.真空极限:8.0×10-5Pa(空载,经烘烤除气后);
4.基片台:150mm×150mm材质不锈钢范围内可装卡各种规格基片;基片旋转:0~30转/分钟;加热:室温~500±1℃,可控可调,智能温控闭环控温;
5.配置国际知名品牌3支3英寸永磁共焦磁控溅射靶(溅射靶角度、高度可调);阴极型号:ONYX-3 STD Magnetron;
6.基片台配有偏压清洗功能,并配有直流脉冲偏压电源;
7.磁控溅射电源:配备国际知名品牌射频溅射电源(600W)3台;1套直流脉冲偏压电源:直流脉冲溅射电源(1000W),数字式直流电源数显可调控;
8.配有质量流量控制器三路,供Ar、N2、O2气体使用;
9.配备有循环水冷机和空气压缩机;
10. PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
11.报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统;
12.设备配备有独立机架及电控柜。
(二)质保期不少于3年。
(三)报价要求
若采购需求未发生实****小组进行认定),本项目将不再组织二次报价,即以供应商响应文件中的报价为最终报价。
五、评分标准
本次磋商采用综合评分法,总分为100分,具体内容如下:
(一)技术参数、配置及整体综合性能分(50分)
1.技术参数及配置(35分)
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据,****小组根据实际情况进行评判。
(1)所提供产品多项不满足磋商公告要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,****小组评审可作为无效响应文件。
(2)所提供产品不满足磋商公告要求(偏离)、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的,每处扣2分。
2.综合性能情况(15分)
(1)所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技****小组认为超出指标有意义的)(5分)。其中优于项,每处加2分。
(2)所提供产品的市场反馈情况(10分)。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。
(二)价格分(35分)
1.基准价:满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价,基准价为满分35分;
2.其他供应商的报价得分按照下列公式计算:报价得分=(基准价/报价)×35分。
(三)综合商务(15分)
1.供应商综合实力(2分)
根据供应商综合实力评定。
2.售后服务与培训情况等(10分)
(1)质保期(3分)。符合磋商文件要求的,得1分,每增加一年质保期加1分。
(2)服务、技术支持与培训承诺情况(7分)。
根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。
3.其它(3分)
(1)磋商响应文件质量(1分)。根据磋商文件的规范性、完整性等情况综合评定。
(2)其它优惠措施等(2分)。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外,磋商小组认可的优惠措施综合评定。
六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
七、供应商资质要求
(一)在中国境内注册成立的企业,具有独立法人资格。
(二)经营范围包含报价产品。
(三)本项目不接受联合体报价。
八、磋商响应文件的组成
(一)磋商响应文件一般由下列材料组成(部分表格样式见附件),复印件须加盖供应商公章,所有材料须按序装订成册:
1. 磋商响应资料与页码对照表。
2. 磋商响应函(原件)。
3. 响应基本情况一览表(原件)。
4. 详细配置清单(原件)。
5. 技术规格偏离表(原件)。
6. ****公司性质、公司规模、公司业绩、公司荣誉、公司资质、财务状况等,原件)。
7. 资格证明材料
(1)营业执照、税务登记证以及组织机构代码证(复印件)。
(2)法定代表人授权书(原件)。
(3)法定代表人身份证明材料(如身份证、护照等)(复印件)。
(4)法人授权代表身份证明材料(如身份证、护照等)及单位社保证明(复印件)。
(5)供应商最新的年度审计报告或财务报告(复印件)。
(6)仪器设备生产或经营企业许可证(复印件,特殊行业必须提供)。
(7)仪器设备销售代理授权证明****制造厂商投标的,须按第2.2条要求提供,专项授权书提供原件、代理证书提供复印件)。
(8****中心出具的质量体系认证证书(例如:ISO、FDA、CE、3C等,国家强制要求的设备必须提供,复印件)。
(9)近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式(以教学、科研用户为主,原件)。
8. 服务措施、服务承诺(主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等)(原件)。
9. 供应商认为应该提供的其他材料。
(二)特别说明
1. “磋商响应文件”应装订并密封,并加盖投标单位公章;
2. 正本一份,副本三份,如副本与正本有出入,以正本为准;
3. 相关材料及填写规范按照第三条“投标文件”中的具体要求执行。
九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,参照第21条中的要求执行。
十、磋商文件价格:人民币300元(相关缴纳事宜详见附件2),售后不退。
十一、供应商在报名前,须认真阅读和本磋商公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在2022年6月23日12:00前将报名函(格式见附件3)发送邮件至采购人处(lrb998@suda.****.cn)。
十二、递交磋商响应文件相关事宜:
(一)顺丰快递(建议优先采用)
1. 寄达时间:2022年6月28日10:00前;
2. 收件人信息:
收件人:招标中心罗荣飚
联系方式:136****9516
收件地址:**省**市东环路50号**楼0904室
(二)现场递交
1. 现场递交时间:2022年6月28日9:30~10:00
2. 现场递交地点:**省**市东环路50****大学东校区东大门
十三、递交磋商文件截止时间:2022年6月28日10:00。
十四、磋商时间:2022年6月28日10:00。
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