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2022年10月27日 10:(略)
(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购(略): | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | (略)采购,对现有的离子束溅射设备进行更新,将高性能滤光片的研制从400-1000nm拓展到400-2000nm波段,设备升级数量1台,有助于研发制备红外光学系统中所需的高性能滤光片。规格参数:高真空腔室:极限真空8.0×10(-8);沉积样品夹具:φ4×310mm φ2×310mm;夹具转速:行星式转动0.05rps~0.4rps;透射式直接宽光谱光学监控系统:波长范围350-2100nm,分辨率:0.67nm;透射式直接单波长监控系统:波长范围350-2100nm,分辨率:0.1nm;溅射源:16cmRF离子源 12cmRF离子源;靶材:双旋转溅射靶材组件,φ355.6×25.4mm; 真空系统:分子泵、机械泵、Polycold。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采(略),具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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