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2022年11月09日 18:22
TX-电子束曝光(EBL) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | TX-电子束曝光(EBL) |
预算金额: | 1800.000000万元(人民币) |
采购品目: | A032199其他电工电子专用生产设备 |
采购需求概况 : | 购买电子束曝光系统,数量1套。应用于半导体激光器、纳米光学器件、集成电路芯片、集成光子回路芯片等的高精度器件制备。 主要技术指标: 1.加速电压100kV; 2.最小线宽≤8nm,最小套刻/拼接精度≤±12nm; 3.最大束流达到300 nA,最小束斑直径≤3nm; 4.最大写场面积 ≥1mm×1mm; 5.图形发生器最大扫描频率为125MHz; 6.支持最大8英寸晶圆或7英寸掩膜版,兼容2、3、4、5、6英寸晶圆与碎片的电子束加工,兼容4、5、6英寸掩膜版; 7.全自动两工位真空闸(Airlock)样品仓,可实现不少于两个样品架的承载和自动上下料(可以升级到10工位的真空闸样品仓); 8.采用热场发射电子枪,电子枪典型寿命大于8000小时; 9.可实现全自动设置和操作,包括电子枪预热、对焦调整、像散调整、偏转校正、自动上下换片等。 |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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