位置>千里马招标网> 招标中心> 集成电路芯片生产工艺流程演示仪(JLU-KC22084)采购公告
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集成电路芯片生产工艺流程演示仪 | 项目编号JLU-KC22084 | |
(略)1:17:03 | 公告截止日期2022-11-17 12:00:00 | |
吉林大学 | 付款方式货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 国内合同签订后30个工作日内 | |
¥ | ||
吉林大学 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
集成电路芯片生产工艺流程演示仪 | 1 | 台 | 其他仪器 |
浙江三和科教仪器有限公司 |
SHYSY22-01 |
¥ |
1.外观尺寸:4010*320*1020mm2,产品配置:设有互动滑轨电视系统和六个演示模块,包含有拉单晶、硅锭切割、匀胶、光刻、刻蚀、掺杂、晶圆切片、搭桥、焊线、封装十个环节和芯片展示模块。 ◆互动滑轨电视系统由防尘轨道和27寸一体机加驱动系统组成,预装了交互控制程序,可以响应每个展示模块底端面板上的呼叫按钮的操作,程序控制自主滑行到呼叫模块的位置,并启动该模块的视频演示程序,与该模块的机电演示同步。 ◆展示模块:通过交互按钮可以放大不同倍数的芯片结构图,并展示不同规格的晶圆片实物和不同封装工艺的芯片成品。 ◆拉单晶模块:模仿直拉法单晶炉造型,通过交互灯光加硅砂演示拉制单晶的过程。炉壁上设有观察窗口,可以观看炉内的硅砂和灯光的变化。样品台呈有硅砂和单晶棒实物。 ◆硅锭切割模块:造型为线切片机的模仿,设有直流电机,通过单片机程序,同步演示切割硅锭的过程,样品台上有单晶棒和硅片实物以供观看。 ◆匀胶模块:利用光电技术,动态展示光刻胶的旋涂过程。样品台上有匀胶前后的实物对比。 ◆光刻模块:采用紫色聚光灯模拟极紫外激光束的光刻环节,光线透过透镜把图案投影到盘片上,盘片表层油墨变色显示出图案。样品台上有光刻前后的实物。 ◆刻蚀模块:演示湿法刻蚀的过程,盘片通过滑台升降,下方刻蚀槽设有7寸屏幕,采用虚实结合技术,动态展示湿法刻蚀的过程。样品台上分别有刻蚀前后的实物。 ◆掺杂模块:演示离子注入的局部过程,通过5寸屏幕可视化展示磁体分析仪中筛选离子串的过程,激光束照射工艺腔中的盘片。样品台上呈放有掺杂前后的实物。 ◆晶圆切片模块:演示激光切割晶圆的过程,上部模型中发射激光束,平面滑台按程序设定好的线路运行,盘片上产生激光印痕。样品台展示切片前后的实物。 ◆搭桥模块:采用机械手模拟搭桥过程,把真实的搭桥动作缓慢化,方便清楚观察到拾片、移动、放片的全过程。样品台上有搭桥前后的实物以供观看。 ◆焊线模块:把焊线的核心部位放大并简化,采用二维机械手,左右前后移动,按程序控制发射激光束,用于模拟焊线的过程。样品台上焊线前后的实物。 ◆封装模块:提炼了封装工艺中的最核心环节,采用形象的造型来演示芯片封装的过程,模型上升下降用直流电机,旋转盘用180度舵机。样品台上有封装前后的实物。3,主题颜色:银灰色4,产品材质: ◆主框架:整体采用铝合金框架进行对接,整体分成6个模块和滑轨电视机框架组成。滑轨框架由厚度2mm整体铝型材拉伸完成,两边安装10mm铝合金封板,铝型材表面均经纯环氧树脂塑粉高温固化处理与氧化处理,耐腐耐磨。 ◆驱动系统:采用最新专用电机控制DSP芯片和矢量闭环控制技术,彻底克服开环步进电机丢步的问题,同时明显提升电机高速性能、降低电机发热和减小电机振动,提升机器加工速度和精度,降低机器能耗。在电机连续过载时,驱动器会及时输出报警信号,具有与交流伺服系统同样的可靠性。 ◆分段模块:采用壁厚1.5mm的铝合金型材+铝制背板连接而成,两侧板为4mm钣金数控激光雕刻成型,每组模块配备照明系统,从而保证模块内部光照均匀,表面配备2mm透明亚克力弧形玻璃,拥有良好视野,所有铝材表面均经氧化处理,达到增强耐腐、耐磨性。5,使用环境:输入电压:220V±10%,50Hz输入功率:800VA工作温度:0-40℃工作湿度:≤90%6.竞价时,必须上传生产厂家针对本项目的授权书和售后服务承诺书。 |
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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