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2022年12月01日 19:56
极高分辨场发射扫描电子显微镜 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 极高分辨场发射扫描电子显微镜 |
预算金额: | 400.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0699其他试验仪器及装置 |
采购需求概况 : | 拟采购1套。要求:1 极高分辨场发射扫描电镜主机 1.1 电子光学系统 1.1.1 分辨率:二次电子(SE)像 1.1.1.1高真空模式:15 kV时0.5 nm,1 kV时0.9 nm 1.1.2 放大倍率范围:30 ~ 1,000,000倍(根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准) 1.1.3 发射电压:200V 至 30kV;着陆电压:20V 至 30 kV1.2 样品室和样品台 1.2.1 样品室:样品室左右内径340mm,分析工作距离不小于10mm,10个探测器/附件接口,样品室等离子体清洗 1.2.2样品台:五轴马达驱动,移动范围:X = 110mm,Y = 110mm,Z = 60mm T = -10度~+90度,R = 360°连续旋转,重复精度 < 3.0um,样品台承重量高达2.0 kg,配备电子束减速模式,样品台偏压 +50V至 - 4000V,新型多样品台 (可放置截面观察,预倾斜等样品),最大可观测样品尺寸:直径120mm |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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