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2022年12月04日 18:33
强磁性薄膜制备与表征平台镀膜机及显微镜 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 强磁性薄膜制备与表征平台镀膜机及显微镜 |
预算金额: | 180.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****2402真空应用设备 |
采购需求概况 : | 拟采购超高真空磁控溅射镀膜机1台。该设备由一个磁控溅射腔体、一个进样腔体和一个传动机构组成,溅射腔体包含6个溅射靶枪,进样腔包含5个样品位,传动机构包含一套送样机械手臂;溅射腔体极限真空优于5×10-10Torr,主要用于合金薄膜等电子功能薄膜材料超高真空制备。所需满足的主要指标参数为:(1)真空腔体结构:全密封超高真空304不锈钢圆柱型反应腔体,圆柱型腔室法兰采用金属密封+O型橡胶圈双密封机构;(2)磁控溅射靶枪:配置6个2英寸超高真空溅射靶枪,可以承受200℃烘烤和10-11Torr真空;(3)靶枪电源:配置2个直流靶枪电源,一个射频靶枪电源;(4)样品位:磁控溅射腔体内配备一个样品台,兼容4英寸及其以下尺寸的基片,样品台最高加热温度1000℃,PID温控精度±0.1℃;签订合同后要求9个月内到货,到货后1个月内完**装调试及终验收。拟采购原子力显微镜1台,主要用于电子功能薄膜材料表面形貌及相互作用力的分析表征。签订合同后要求6个月内到货,到货后1个月内完**装调试及终验收。 |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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