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位置>千里马招标网> 招标中心> 原子层沉积机（JJ2022004470）成交结果公告
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| 原子层沉积机 | 项目编号**** | |
| 2022-12-01 22:10:47 | 公告截止日期2022-12-06 16:00:00 | |
| **** | 付款方式供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付全部货款。 | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 合同签定生效后10个工作日内 | |
| ￥ | ||
| ******校****学院523室 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
采购清单1
| 原子层沉积机 | 1 | 台 |
| 北加州 |
| TALD-150R |
| ￥ |
| 1.腔室：可放下最大6英寸晶圆，反应温度最高400；2.前驱体源系统：加热源3路，常温源1路，臭氧源1路，两路载气并预留2个接口；3.真空系统：极限真空＜5×10-3Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa﹒L/S包含：4.配置机械油泵，额定抽速＞16m3/h，真空泵前级配置热阱；5.配置真空计,真空计前设有过滤网以及气动隔膜阀；6.PLC+工控机沉积自动控制系统，搭载自动控制软件6.基于windows的可视化操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；7.沉积模式：连续模式、停流模式；8.在 6 英寸硅晶圆上沉积 500 循环氧化铝，膜厚非均匀性≤±1%为合格； |
| 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
变更信息
| ￥ 292000 |
| 符合要求，价格最低 |
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