********中心就全反射X射线荧光光谱仪项目以单一来源方式进行采购。

一、采购机构：********中心

二、项目编号：****

三、项目名称：全反射X射线荧光光谱仪

四、采购人：****

五、采购预算：人民币700万元。

六、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由)：

在半导体材料及工艺研究中，全反射X射线荧光光谱仪可用于晶片表面及近表层分析，其极低的检出限、极少的用样量、极高的准确度，能够测量所有晶圆工艺中的晶圆污染，检测元素从Na~U，从而控制外延及器件生产的质量和成品率。

经用户调研，日本Rigaku公司的TXRF 3760能够检测8英寸高达200mm的晶圆、具有专利的XYθ样品台系统、真空晶圆机器人传送系统和扫描软件系统、可提供最大35KV的高压与最大300mA的电流输出，但最大功率输出为9KW、最低侦测极限 (LLD)达到W-Ma Al≦5.0x1011等，成为唯一一款应用于半导体晶圆领域的全反射X射线荧光光谱仪，因此，采取单一来源方式采购。****公司为****。

拟定的唯一供应商名称：****

七、资格要求：

遵守《中华人民**国招标投标法》、《****政府采购法》等有关的国家法律、法规和条例，具备本文件中规定的条件：

1)具有独立承担民事责任的能力；

2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5****政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

6）具备法律、行政法规规定的其他条件。

八、报名流程：

登录********中心网站（http://www.****.cn/）进行供应商注册，****中心审核通过后，在报名截止时间前再次登录系统在线报名本项目，报名审核成功后自助下载采购文件。

九、公示时间：自发布公告起五个工作日。

开标时间：2022年12月15日16：00。

十、联系方式

采购人：****

地址：**市山大南路27号

联系方式：0531-****3689

联系人：鲁老师

********中心

二〇二二年十二月八日