中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）单室高真空电阻式镀膜设备

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中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）单室高真空电阻式镀膜设备

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更新时间:

2023年02月13日

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关键信息:

微电子电阻

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********学院****学院）单室高真空电阻式镀膜设备

基本信息

项目编号	****
项目名称	******学院**学院）单室高真空电阻式镀膜设备
项目类型	货物采购	申购主题	单室高真空电阻式镀膜设备	采购单位	****
项目预算	***	采购开始时间	2023-02-13 08:44	采购结束时间	2023-02-20 09:00	是否送货	是
期望收货时间	合同签订后90天交货	经办人	黎老师	经办人电话	020-****5085-809
送货地址	广**大学城**纳米楼613
电子签章	本项目需要使用CA签字
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，**公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.**.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求

单室高真空电阻式镀膜设备

1台

【科诚】【方昇】

详情请进入系统查看

"单室高真空电阻式镀膜设备"技术要求

序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明

1	1、真空室腔体:1套（真空室内部尺寸D400±5*480±5mm），前后门各配视窗1套；	重要	否
2	2、金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，配气动挡板，1KW可控硅调压电源3台（数字显示），电流调整精度1A（微调）	重要	否
3	1) 有机蒸发源3套，温控电源3台（温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；	重要	否
4	2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，	重要	否
5	3、样品台系统：1套	重要	否
6	1) 基片旋转：转速0～30转／分连续可调；	重要	否
7	2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；	重要	否
8	3) 基片挂架：166±3×166±3mm基片台，可安装25×25mm基片25片；	重要	否
9	4) 基片挡板：气动挡板。	重要	否
10	4、真空泵机组：1套，包含1)风冷复合分子泵1台；2)双级泵1台3)气动超高真空插板阀1台；4) 超高真空气动挡板阀1台；5) 高真空气动挡板阀2台；6) 高真空气动挡板阀1台；7) 真空电磁充气阀1台；8) 泵阀连接软管2套，三通1套；9) 真空计1台；	重要	否
11	5、极限真空：优于5×10-5Pa，大气至5×10-4Pa时间小于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。	非常重要	是
12	6、在上述基片面积范围内，所蒸镀的有机材料薄膜与金属薄膜的均匀性大于95％。	非常重要	是
13	7、膜厚检测系统：1套	重要	否
14	1) 膜厚仪：四通道石英晶振膜厚监控仪1套（探头输入：4个标准输入；频率范围：4到6 MHz；测量周期0.10秒时，频率分辨率为+/-0.03Hz @ 0.1 Sec；频率稳定度：+/- 2ppm；测量/更新率：1至10 Hz；速率显示精度：0.01Angstrom/秒；流程：100个进程，1000层，50个膜层）；	重要	否
15	2) 膜厚探头：水冷膜厚探头3套。	重要	否
16	8、蒸发速率最低可以均匀的稳定的0.1 nm/s,并保持10分钟以上。	非常重要	是
17	9、设备机架：1套，包含1) 40碳钢方管焊接机架1套， 2) 3英寸万向轮4件3) 地脚4件。	重要	否
18	10、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置），包含1）烘烤照明电源：1台；2）总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台。	重要	否
19	★11、匹配米开罗那手套箱，手套箱型号为Universal（2700/750/900），镀膜机高≤2000mm，宽≤1100mm，前后距离≤800mm）。	非常重要	是
20	12、附件参数：配备小型制冷水机一台，小型无油静音气泵，各种无氧铜垫、氟橡胶圈以及各种标准件；	重要	否
21	13、软件及其功能：应至少具有：1.误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2.高真空蒸发镀膜自动控制系统；3.高真空自动抽气系统	重要	否

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