位置>千里马招标网> 招标中心> 高真空镀膜仪(JJ2023000009)成交结果公告
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高真空镀膜仪 | 项目编号**** | |
2023-02-24 16:17:37 | 公告截止日期2023-02-27 18:00:00 | |
**** | 付款方式外贸:合同签订后乙方支付合同款的5%给甲方作为履约保证金,履约保证金待货物验收合格之日起计正常运行一年后无息退还。合同签订后开100%LC信用证,凭到岸运保凭证付90%的合同款,余款10%待货物验收合格后付清。 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 外贸:办理免税后90个工作日内 | |
¥ 496000.00 | ||
****科技园阳光科技大厦南111 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
高真空镀膜仪 | 1 | 台 | 非通用设备 |
德国徕卡 |
Leica EM ACE600 |
¥ 496000.00 |
1、设备功能:可实现金属溅射镀膜、碳丝蒸发镀膜、辉光放电等功能。2、设备性能指标2.1、真空系统▲2.1.1 真空泵:隔膜泵+涡轮分子泵(67 l/s),无油真空系统。▲2.1.2 极限真空度:2×10-6mbar(连续抽真空24h)。▲2.1.3 真空计:Pirani真空计+冷阴极真空计。2.1.4 抽真空时间:分子泵全速,约需15分钟抽至5×10-5 mbar,约8分钟抽至10-4mbar(可以镀膜)。▲2.1.5 离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FESEM)需求。碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜。★2.2、镀膜方式离子溅射法;脉冲式碳丝蒸发镀膜法;离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法;辉光放电;可以连接真空交换仓,与电镜配套实现冷冻镀膜,冷冻断裂,双复型,冷冻干燥和真空冷冻传输。2.3、离子溅射法2.3.1 离子溅射电流:15-150mA,连续可调。2.3.2 溅射时间:1-1800s 可调。2.3.3 镀膜厚度:1-1000nm可调,自动终止,检测精度0.1nm。2.3.4 靶材直径:54mm,厚度最大1mm。2.3.5 靶材相对样品台角度:25° 。2.3.6 溅射用工作气体:氩气,纯度99.99%,减压阀输入压力:0.5 bar。2.3.7 氩气接口:6mm(G1/8")快插接口,使用聚酰胺软管连接。2.3.8 氩气消耗:约18 sccm 。2.3.9 破真空气体:氮气,纯度99.99%,减压阀输入压力:0.2-0.5bar。2.3.10氮气接口:6mm(G1/8")快插接口,使用聚酰胺软管连接。2.3.11内置挡板,自动开启与关闭,用于预溅射时防止污染。2.4、碳丝蒸发法2.4.1 蒸发模式:脉冲式碳丝蒸发。2.4.2 一次可安装4组碳丝,单根或双根,自动检测和切换碳丝。2.4.3 镀膜厚度:1-100nm可调,自动终止,检测精度0.1nm 。2.4.4 靶材相对样品台角度:25°。2.4.5 碳丝蒸发功率:最大780W。2.4.6 内置挡板,自动开启与关闭,用于除气时(degas)防止污染。2.5、样品仓2.5.1 方形金属样品仓。2.5.2 玻璃单仓门,大面积观察窗。2.5.3 样品仓内壁可拆卸。2.5.4 样品仓尺寸:宽:200mm,深:150mm,高:195mm。2.5.5 LED样品仓内部照明。2.6、样品台2.6.1 电动三向可调样品台:可旋转,可倾斜,可调节工作距离。2.6.2 旋转速度:5档可调,触屏控制,马达自动调节。2.6.3 样品台角度:+/-60°可调,电动调节。2.6.4 工作距离调节范围:30-100mm,电动调节。2.6.5 样品台直径:104mm,带24孔,可插入24个SEM标准样品台(12.7mm)。2.7、QSG石英膜厚检测器▲2.7.1 标配内置QSG石英膜厚检测器。2.7.2 检测精度:0.1nm。2.7.3 可设置镀膜厚度范围:离子溅射:1-1000nm,碳丝蒸发:1-100nm。2.8、操作控制2.8.1内置式彩色触摸屏控制。2.8.2全自动,设定参数后,仪器自动抽真空,切换挡板,样品台旋转至指定速度,倾斜至指定角度,工作距离调节至指定高度,镀膜至指定厚度,放气。2.9、辉光放电系统▲2.9.1辉光放电电流设定范围8mA至12mA,连续可调。2.9.2辉光放电时样品仓真空度设定范围1E-1mbr至5E-1mbr。2.9.3辉光放电时时间设定范围5s至60s。2.9.4辉光放电时样品工作距离设定范围40mm至75mm。2.10、电气参数及环境要求2.10.1 电压:100/115/230V(-10%/+15%),50/60Hz。2.10.2功率:1000W以内。2.10.3保险丝:230V,1A,115V,2A。2.10.4 USB接口:U盘容量32GB以内。2.10.5工作温度:15-30°C 。2.10.6存储温度:5-40°C 。2.10.7环境湿度:80%以内。2.11、尺寸与重量2.11.1主机:宽:~300mm,深:~540mm,高:~640mm。2.11.2主机净重:~65kg。2.11.3真空样品仓:宽:200mm,深:150mm,高:195mm。3配置情况镀膜仪主机,一套;隔膜泵+涡轮分子泵(真空系统),一套;油雾过滤器,一套;真空连接管,一套;用于溅射Pt靶材,DN 54x0.17mm以上,99.99%, 21.45 g/cm3,15套(国内采购);金钯,8020,16.7克立 方厘米,0.17毫米,99.99%,7套(国内采购);QSG石英膜厚检测器,一套;Pirani真空计,一套;冷阴极真空计,一套;离子溅射系统,一套;脉冲式碳丝蒸发系统,一套;碳丝25m,4套;扫描电样品托24孔样品台,两个;辉光放电系统,一套;方形金属样品仓,一个;三向可调样品台:可旋转可倾斜,可调节工作距离样品台,一个;隔膜泵垫片、视窗玻璃、快门各备一套;陶瓷板备用一个;LED防护玻璃 两套(含主机中一套);石英片两包(含主机中一套);防尘罩一个;抛光液一份。 |
质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:省内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:72小时内无法排除故障,免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务,维修过程只收取配件费,且以最优惠价格提供; |
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¥ 494500.00 |
符合要求,价格最低 |
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