位置>千里马招标网> 招标中心> 有机-金属热蒸 镀系统(ZBZXHB2023006)延期公告
您尚未开通该权限!
咨询客服:400-688-2000,掌握更多商机线索!
- 咨询:400-688-2000查看全部商机
有机-金属热蒸 镀系统 | 项目编号**** | |
2023-03-13 09:08:09 | 公告截止日期2023-03-20 11:00:00 | |
**** | 付款方式请查看比选文件 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 成交后15个工作日内 | |
¥ 650000.00 | ||
一环**一段24号******校区第一理科楼 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
有机-金属热蒸 镀系统 | 1 | 台 | 真空应用设备 |
- |
- |
¥ 650000.00 |
1、整体性能1)蒸镀机能够同时蒸镀4个器件,并且1轮蒸镀(1个run)可实现4种不同器件结构的制备;2)采用一体式机架,控制部分与真空室集成在一起,可整体移动,采用优质进口铝型材搭建;3)机架底部安装支撑脚及脚轮,可随意推动;也可撑起地脚固定设备。4)具有等离子体清洗基片功能。2、样品台1)可安装4个尺寸20mm*20mm的基片托盘,可真空状态下更换掩膜板,具体12面掩膜图案结构图形根据要求定制,图案可更改;2)基片盘可旋转,采用伺服电机驱动,旋转速度0-60转/分可调;3)提供一套掩膜板,图案根据客户要求设计,样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm;4)样片旋转要求采用磁流体密封,保证密封可靠性;5)挡板采用磁流体密封,在基片旋转的任意角度均可挡住或打开,通过软件控制。3、蒸发源1)共12组蒸发源,可兼容蒸镀金属和有机材料;源与源之间配有防止交叉污染的防污板;2)配3套蒸发电源,一套功率1.4KW及以上,两套功率0.6KW以上,用于蒸发金属和有机材料,可切换到12组蒸发源中任意1组。蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式,二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制,具体二段或以上升温过程控制,一段降温过程控制,也可以手动控制,此外,蒸发电源还可以通过膜厚仪PID(闭环控制),自动调节蒸发速率;3)有机和金属蒸发源均带有水冷功能。4、膜厚测量系统1)采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚,可以实时测量蒸发的速度和厚度;2)膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S,厚度精度优于1A;频率分辨率0.01Hz,可以PC机上操作,带有PID环功能,可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率;膜厚仪可以实现4源共蒸。3)石英晶振探头4个,6MHz,采用快速卡扣式结构更换晶振片,避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片,采用UBQD密封结构。5、蒸发腔体1)腔体采用SUS304不锈钢制作,其内部尺寸约为380×380×570mm;2)腔体为方形,有前后二个可完全打开的门,一个为滑动式开启,用于连接手套箱,一个为旋转开启或滑动式开启,用于维护清理;3)腔体内表面采用电解抛光处理,表面精糙度小于等于0.8;外表面采用拉丝抛光,表面精糙度小于等于0.8;整体要求美观,无擦伤及划痕;4)腔体漏率:整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S,保压12小时,压强小于10Pa。6、蒸镀真空系统1)极限真空优于:3.5×10-7torr;2)主泵抽速不低于700L/S,采用分子泵;3)前级泵抽速不低于15 m3/h;4)气动高真空插板阀,通径大于等于150mm;5)带有旁抽式结构,可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能,防止误操作;6)腔体充氮气,从大气抽至3*10-6torr的时间要求小于15分钟。7)提供腔体RGA分析报告。7、蒸镀软件控制系统1)采用PLC+触摸屏控制模式;2)真空系统的控制分为手动和自动二种模式。自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵、阀的启闭;3)带有膜厚测量控制屏,可通过膜厚仪触摸屏的相关操作;4)带有蒸发电源控制模块,通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温,也可手动输入控制数据;5)带有伺服控制模块,可完成旋转速度,旋转角度,定位角度的控制;可完成更换掩膜板的操作。8、验收、培训及服务1)负责镀膜系统与惰性气体环境系统的对接和调试;2)提供设备的操作培训;3)提供设备的常见问题处理培训,日常维护保养培训;4)提供样机蒸镀工艺培训,要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训,包括有蒸镀技巧,共蒸发注意事项,掺杂蒸发技巧,常见有机材料选用注意事项等,并提供设备样机试用时的有机及金属材料,同时对各项指标进行验收,若不能满足用户实验需求,用户可退货;同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。设备验收时采用的试机器件结构:HAT-CN(10 nm)/NPB(60 nm)/Alq(60 nm)/Liq(2 nm)/Al(120 nm)需要达到最低器件性能:@电流密度5 mA/cm2,电压3V,3.6 cd/A,2.4 lm/W,色坐标(0.35,0.53),波峰532 nm。9、其他伴随服务1)提供备用配件一套(含腔体密封圈、垫片等耗材)、使用手册、说明书、维修手册,标准工艺手册等各1套。2)质保期不少于3年,腔体内衬板免费清洗每年2次,软件终身免费升级。 |
服务年限:12月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
注册会员享贴心服务
项目查询服务
·让您全面及时掌握全国各省市拟建、报批、立项、施工在建项目的项目信息
·帮您跟对合适的项目、找对准确的负责人,全面掌握各项目的业主单位、设计院、总包单位、施工企业的项目经理、项目负责人的详细联系方式
·帮您第一时间获得全国项目业主、招标代理公司和政府采购中心发布的招标、中标项目信息
项目定制服务
·根据您的关注重点定制项目,从海量的项目中筛选出符合您的要求和标准的工程并及时找出关键负责人和联系方式
·根据您的需要,向您指定的手机、电子邮箱及时反馈项目进展情况
- 猜你喜欢
- 更多成都市招标采购信息
- 金牛金周路道排工程预制构件采购计划
- 03月16日
- 刀夹 G516-1907-0000
- 03月16日
- 保定市第二医院超声波清洗机及根管预
- 03月16日
- 分谈-云南昆船机械制造有限公司-切
- 03月16日
- 分谈分签+天津旗领机电科技有限公司
- 03月16日
- 怀化君达怀荣宾馆有限责任公司职工健
- 03月16日
- 【日常物资】钢材 港机 发潍坊整单
- 03月16日
- 【日常物资】钢材 港机
- 03月16日
- 【日常物资】电缆桥架附件 装备03
- 03月16日
- 中铁北京工程局济南地铁6号线盾构采
- 03月16日
- 矿石公司槽钢 XJ23030802
- 03月16日
- 分谈分签 726所采购聚四氟乙烯套
- 03月16日
-
成都市建材网
成都市采购信息网
成都市政府公开信息
成都市公共资源交易网
成都市电力交易中心
成都市交易中心
成都市房产交易中心
成都市工程交易中心
成都市钢铁交易中心
成都市建设交易中心
成都市招投标交易中心
成都市政府交易中心
成都市造价信息网
成都市市政工程信息网
成都市水利工程信息网
成都市通信工程信息网
成都市医药招标网
成都市建筑招标网
成都市工程招标网
成都市建设招标网
成都市施工招标
成都市装饰工程招标
成都市建设工程网
成都市水利招标信息网
成都市电力招标网
成都市建委招投标网
成都市建筑管理网
成都市建设信息港
成都市教育招标网
成都市装修招标
成都市人力和社会保障局
成都市建设网
成都市总包工程
成都市政府工程招标
成都市工程施工招标
成都市工程公开项目
成都市工程采购信息
成都市招标投标采购平台
成都市省市工程建设网