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108 Auto 离子溅射仪 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
品牌CRESSINGTON 108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。 主要特性 一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。 二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。 三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。 四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果, 五、通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。 六、可用MTM-20高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。 七、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。 八、可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。 技术参数
可选附件: 一、膜厚测控仪
二、R-P-T(Rotary-Planetary-Tilting)样品台 样品台可旋转,可倾斜,适合多角度样品。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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