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2023年04月21日 16:45
有机物化学气相沉积设备 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 有机物化学气相沉积设备 |
预算金额: | 220.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0300电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。 具有5个蒸气传输管道, 包含: a. 4个标准钢瓶蒸气传输管道 b. 1个气泡式钢瓶蒸气传输管道 1.2 5个钢瓶卡匣模块, 具有温度传感器, 加热器及过热自动断电保护功能, 包含: a. 4个标准钢瓶卡匣模块 b. 1 个气泡式钢瓶卡匣模块 1.3 5 个钢瓶, 搭配手动阀门, 包含: a. 4个标准钢瓶及化学前驱体 b. 1 个气泡式钢瓶卡及化学前驱体 1.4 厂务端电源, 压缩空气进口及废气排放接口 1.5 内建无线射频等离子体生成器 1.6 等离子体生成器氧气入口 1.7 微软WINDOWS电脑,预先安装执行软件 1.8 电脑显示屏幕,鼠标及键盘 1.9 干式真空泵 1.10 包含冷水机一台 1.11 工作状态腔内真空度:≤ 2Pa (~0.015Torr),到达以上真空度需求时间 < 10分钟 |
预计采购时间: | 2023-05 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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