位置>千里马招标网> 招标中心> 山西大学紫外光刻机采购项目(SDDY-220305) 单一来源征求意见公示
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一、(略)
采购人:(略)
项目名称: (略)紫外光刻机采购项目
拟采购的货物或服务的说明:
(略)拟购置ABM Inc公司生产的紫外光刻机主要用于离子阱量子计算研究。在芯片离子阱量子计算的实验中,需要通过芯片阱的设计来突破常规离子阱的规模限制,从而获得更大规模的离子阱量子位,其光刻有效范围: (略);曝光精度:0.6um微米(NUV);分辨率小于1微米;光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考)≤±3% 辐照中心点6英寸范围内;对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 ,分视野;对准精度(略);放大倍率连续可调:标配100-800X。目前能满足上述特点的紫外光刻机只有美国ABM Inc公司生产,所以申请单一来源购置该紫外光刻机。
本次拟购买的美国ABM Inc公司生产的紫外光刻机设计易于操作、稳定性极高,具有稳定的可重复曝光功能,可以实现均匀可控的紫外光输出,是完成实验研究和教学科研工作中必不可少的设备之一。
拟采购的货物或服务的预算金额: (略)
采用单一来源采购方式的原因及说明:目前满足上述参数的紫外光刻机,只有美国ABM Inc公司生产,(略)是美国ABM Inc公司在中国此项目授权的唯一代理商,因此,申请以单一来源方式采购。
二、拟定供应商信息
名称: (略)
地址: **市**区阜通东大街12号楼14层(15)****
三、公示期限
**** 年 5 月 22 日至 **** 年 5 月 26 日(公示期限不得(略))
四、其他补充事宜:
五、联系方式
1.采购人
联 系 人: (略)
联系地址: (略)
联系电话: (略)
2.监督部门
联系人: (略)
联系地址: (略)
联系电话: (略)
六、附件
1、专业人员论证意见
2、紫外光刻机采购项目明细
附件2:
紫外光刻机采购项目明细
序号 | 货物名称 | 数量 | 单位 | 预算单价(元) | 预算总价(元) | 品牌规格型号及配置技术参数 | 备注 |
1 | 紫外光刻机 | 1 | 套 | (略) | (略) | 1.主要技术指标: *1.1 要求350W近紫外光源和双**固定光强和固定功率电源控制器,紫外波长范围350-450nm (略)光刻辐照输出光源 *1.2 可达到输出紫外光强照度参数如下: 365 nm – 18-20 mw/cm2 400 nm – 35-40 mw(略) *1.3 光刻有效范围: (略) *1.4 光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考): (略) *1.5 光刻最佳分辨率:(略) *1.6 对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 *1.7 对准精度:(略) *1.8 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上一次设定的位置) *1.9 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离) 1.10 需具备携行补偿模式的自动Z轴方向水平补偿功能 *1.11 对准(略):X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.****度 1.12 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触; 1.13 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关; 1.14 配置氮气通路,可用于掩膜板和基板之间分离 2. 光源部分 2.1 光强控制:恒光强和恒功率选择控制,光强和功率可调; 3. 光强均匀性 3.1 ±3%,150mm″晶圆基板; 3.2 ±2%,100mm(略) 3.3 ±1%,50mm″(略) 3.4 紫外光灯源波长范围:(略) 3.5 曝光时间:0.1~999.9s联系可调,最小调节尺度0.1s。 4. 配置 4.1 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。 5. 对准系统 5.1 配备棱镜对准装置,最小双视场对准间距≦10mm; 5.2 对准工作台调整范围:X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.****度; 6. 其他配置 6.1 进口无油真空泵:(略) 6.2 抗震台; | 进口 |
合计 | (略) |
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