位置>千里马招标网> 招标中心> 海宁市高新技术研究院2023年7月至8月政府采购意向
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(略) | **市高新技术研究院设备采购项目 | (略)nm; 3)CCD 分辨率 1k*1k; 4)主机RMS波前重复性优于0.6nm; 5)大口径RMS波前重复性优于0.6nm; 10 **市高新技术研究院设备采购项目 3D光学轮廓仪 1 180 用于光学表面粗糙度测试 1)最大检测范围:200 mm *200 mm; 2)纵向扫描范围:150μm,最大可拓展到20mm; 3)形貌重复性:≤0.03nm; 4)RMS重复性:<0.005nm@ 1σ; 5)台阶测量:准确度≤ 0.75%;重复性≤ 0.1% @ 1σ。 11 **市高新技术研究院设备采购项目 平面超精密环抛机 3 60 用于大口径平面光学元件制造 1) **石工作台直径 1500mm; 2) 可加工光学元件直径范围 > 500mm; 3) 加工精度 RMS值优于λ/60 ; 4) 可加工材料包含光学玻璃(包含钕玻璃)、光学陶瓷、金属材料、合金材料; 12 **市高新技术研究院设备采购项目 超精密五轴加工中心 1 150 用于金属、陶瓷制品的粗加工 1)X轴方向最大行程 1250 mm; 2)Y 轴方向最大行程 1250 mm; 3)Z 轴方向最大行程 1000 mm; 4)工作台承重 1000kg; 5)工作台直径大于1200mm; 13 **市高新技术研究院设备采购项目 高精度高反薄膜镀膜机 1 300 用于金属膜以及改性膜镀制 1) 真空室尺寸:Φ1800mm x H1850 ; 2)基于INFICON的IC-6晶振膜厚控制系统; 3)使用2*Mark II+ 无栅离子源,基于双离子源获得更高均匀性。 14 **市高新技术研究院设备采购项目 紫外/可见/近红外分光光度计 1 150 用于光学薄膜特性测试 1)扫描波段范围:175-3300nm; 2)采用预校准并可自动切换的碘钨灯与氘灯; 3)杂散光:0.00007%T; 15 **市高新技术研究院设备采购项目 气浮平台 3 150 用于实现高精度气浮隔振 1)气浮台台面尺寸8000mm*3000mm; 2)气浮台台面尺寸6000mm*2000mm*2; 3)隔振等级达到VC-D以上。 16 **市高新技术研究院设备采购项目 光学调整架 1 150 用于光学仪器、元件的精密调整 1)补偿器六维调整架*4:X/Y/Z轴行程大于100mm,Z轴行程大于20mm,直线轴重复定位精度优于1μm,直线度优于5μm;X和Y行程为大于±20°,Z行程为360°,转动轴最小移动量为12″,重复定位精度为10″。负载大于20kg; 2) 600mm四维反射镜调整架*4:置物台面积600*600mm,承载300kg;X、Y轴方向自由度可电动调节,行程150mm,分辨率≤2.5um;θX、θY轴方向自由度可电动调节,行程±3°,分辨率≤0.001°,其中θY轴角度可手动粗调,行程0~90°; 3) 三维干涉仪调整架*3: 置物台面积560*400mm,承载50kg; X、Y轴采用丝杠导轨传动,可手动调节,行程200mm,分辨率≤10um;Z轴采用蜗轮蜗杆传动,减速比50:1,可自锁保护,可手动调节,行程400mm,分辨率≤20um; 4) 1200mm四维反射镜调整架*1: 置物台面积(略),承载500kg;X、Y轴方向自由度可电动调节,行程150mm,分辨率≤2.5um;θX、θY轴方向自由度可电动调节,行程±3°,分辨率≤0.001°,其中θY轴角度可手动粗调,行程0~90°。 | (略) | (略) |
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