位置>千里马招标网> 招标中心> 磁控溅射镀膜机(XF-WSBX-2300273)采购公告
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磁控溅射镀膜机 | 项目编号**** | |
2023-07-10 10:34:07 | 公告截止日期2023-07-17 12:00:00 | |
**** | 付款方式货到付款,甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 成交后3个工作日内 | |
¥320000.00 | ||
**港校区和同苑9幢518 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 玻璃及玻璃制品制造设备 |
¥ 320000.00 |
1、真空腔体:Ф500×H420mm,304优质不锈钢制造;2、真空系统:采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统;机械泵抽速:不小于9L/S;分子泵抽速:不下小于:1200L/S;3、真空极限:6.0×10-5Pa(空载,经烘烤除气后);4、基片台: Ф150mm材质不锈钢范围内可装卡各种规格基片;基片旋转:0~30转/分钟;加热:室温~500±1℃,可控可调,日本岛电PID智能温控闭环控温;5、配置3支3英寸永磁共焦磁控溅射靶(溅射靶角度、高度可调);6、磁控溅射电源:配备中频电源:1000W,2台;直流脉冲溅射电源:1000W,2台;1套直流脉冲偏压电源:直流脉冲溅射电源 1000W,数字式直流电源数显可调控;7、配有质量流量控制器三路,供Ar、N2、O2气体使用;8、配备有循环水冷机和空气压缩机;9、PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;10、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。11、设备配备有独立机架及电控柜; |
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:2年;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品; |
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