一、询价采购编号：****

二、询价人：****

地址：**省**市东环路50号**楼904室

邮编：215021 传真：0512-****5076

联系人：丁老师 电话：0512-****4198，****4359

电子邮箱：dingy@suda.****.cn

技术联系人：徐老师 电话：159****5220

三、设备名称、数量及主要技术指标等要求：

高低温真空探针台 1套

（一）主要技术指标要求

1.可在80K～500K范围内控温，样品台的温度传感器分辨率不低于±10mK，配备温控软件实现温度控制，室温降至80 K温度不多于40分钟；控温稳定性：液氮温度稳定性优于±100mK。

2.气密腔体可抽真空，15分钟内真空度不低于1×10-4Torr，也可以持续通入其他气体作为测试氛围。

3.腔体配备高可见光透射观察窗，可搭配外置显微镜进行样品观察；样品台尺寸不小于2英寸，且能保证加热或者低温控制均匀。

4.腔体配备6个探针臂，探针臂X方向移动范围＞50mm；Y方向移动范围＞25mm；Z方向移动范围＞25mm。X/Y/Z方向的移动分辨率都优于3微米。

5.探针臂旋转角度不低于10度。每个探针臂预留不低于1个真空密封法兰，预留备用升级。

6.配备6探针真空接口转三同轴，电流测试精度至少为20fA，电容测试精度至少为10pF，可搭配Agilent B1500A、Keithley4200等半导体测试仪使用。

7.国内用户基础广泛，提供不少于100家探针台的用户清单。

（二）主要配置要求

1.探针台主机，包含真空腔、防辐射屏、可视窗口、真空接口、氮气清洗接口、泄压阀等。

2.六个直流探针臂，可实现高精度电流与电容测试（具体指标见技术要求），兼容100 MHz以内的射频测试。

3.配备接地样品座一个，三同轴样品座一个（含线缆和加偏压接头）。

4.兼容lakeshore品牌液氮液氦共用流量调节传输管线。

（三）质保期不少于3年。

四、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。

五、报价截止时间：2023年8月26日14：00。

六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。

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询价采购编号：X****062

成交供应商：