广东工业大学2023年09月至2023年10月政府采购意向

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广东工业大学2023年09月至2023年10月政府采购意向

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2023年09月08日

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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2023年09月至2023年10月采购意向公开如下：

序号采购项目名称采购需求概况落实政府采购政策情况预算金额(元) 预计采购时间备注

1	飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统	标的名称：飞秒激光多功能双光束超分辨纳米直写光刻系统标的数量：1 主要功能或目标：1、适配飞秒激光光源，光源基本参数包括： A）中心波长517±5nm； 2、设备提供加工操作软件和数据处理算法软件。软件既能支持光纤光栅加工，也能支持双光束超分辨直写。 3. 在光纤光栅加工时，支持划点和划线加工，点线间距、光栅周期可任意配置等功能。需满足的要求：	按国家相关政策执行	3,200,000.00	2023年09月
2	L波段可调谐光源阵列	标的名称：L波段可调谐光源阵列标的数量：1 主要功能或目标：1.波长调谐范围(nm）: 186.35—191.10THz 2.1568.77—1608.76nm 3.通道数：40 4.单通道输出光功率(dBm): 10~15.5 5.单通道功率调节步进(dB): 0.01 6.单通道线宽(KHz): 100 7.波长稳定性(GHz): ±2.5 8.光功率稳定性(dB): 0.1~1.0 9.工作温度范围（℃）-10 ~﹢45 10.电源 AC 220V 需满足的要求：	按国家相关政策执行	900,000.00	2023年09月
3	晶圆划裂片系统	标的名称：晶圆划裂片系统标的数量：1 主要功能或目标：(1)工作波长：1528.4-1566。9nm (2)通道带宽：6.25 GHz (3)0.5 dB通道带宽：± (6.25n-10) GHz (4)3dB通道带宽：± (6.25n-5) GHz （5）插损：小于等于6.5dB （6）衰减设置时间：≤1000ms (7)开关时间：≤1500ms 需满足的要求：	按国家相关政策执行	1,600,000.00	2023年10月
4	电子束蒸发镀膜机	标的名称：电子束蒸发镀膜机标的数量：1 主要功能或目标：1.电子束与热阻蒸镀； 2.溅射室极限真空度：≤6×10-5Pa 3.溅射室25分钟可达到5×10-4 Pa 4.系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 5.真空室尺寸：500×500×600mm 6.基片尺寸：φ4英寸 7.基片转速：5～20 转/分，可连续回转 8.样品托：2个 9.基片与蒸发源距离：300～400mm，可电动调节需满足的要求：	按国家相关政策执行	1,800,000.00	2023年10月
5	多路光电信号测试系统	标的名称：多路光电信号测试系统标的数量：1 主要功能或目标：1．主机4通道（同时）的模拟带宽20GHz 2．采样率40GS/s （4通道），80GS/s （2通道） 3. 本底噪声（50mV/div）: <0.3925% 4. 垂直分辨率：8bit 5. 存储深度： 64M（4通道）， 128M（2通道） 6. 信号输入接口：50欧姆； 1M欧姆 7. DC增益精度：1.5% 需满足的要求：	按国家相关政策执行	1,000,000.00	2023年10月