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2023年09月08日 14:37
电子束曝光机 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 电子束曝光机 |
预算金额: | 1300.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0419样品前处理及制备仪器 |
采购需求概况 : | 采购电子束曝光机,采购数量为1套。要求该设备能够加工的最小线宽优于 8 纳米,加速电压不低于 100kV、最小束流直径1.8nm(100kV)且对称度高、束斑电流20pA-100nA、视场范围最大3mm×3mm和最小100μm×100μm、束流定位分辨率最小0.1nm。要求设备质量优良,安装调试后能够保持高性能的指标参数,具有良好的时间稳定性。对至少1名操作工程师进行系统深入的培训,实现对设备的熟练操作。签订合同后18个月内完成设备的安装和调试。 |
预计采购时间: | 2023-12 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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