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申购单主题: | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 申购单位: | **超滑技术研究所 | ||||
申购备注: |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
高真空电(略) | 泰科诺 | ZH(略) | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
规格 | 高真空电阻蒸发镀膜机(型号:ZHD300) ※1、真空腔室:≥ф300×H360mm,304优质不锈钢真空腔室; 2、真空系统:复合分子泵+(略),数显复合真空计; ※3、真空极限(空载):8.0×10-5Pa; 4、漏率:≤0.8Pa/h; 5、抽速:(空载)从大(略).0×10-3Pa≤13min; 6、基片台尺寸:最大可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片; 7、基片台加热及旋转速度:0-20 转/分钟; ※8、蒸发源及电源:2对水冷式蒸发电极;1台3kw金属蒸发电源; ※9、晶振探头安装在靠近基片台附近,用以实时监测镀膜速率和终厚,精度可达±1(0.1nm);具备与电源联锁控制功能,若镀膜达到设置厚度,可自动切断电源,停止镀膜,实现自控膜厚之目的。 10、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ80mm 范围内); 11、控制方式:PLC+触摸屏(略),提供制造商工业自动化控制系统软件著作权证书; 12、报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 ※13、辅助设备:冷却循环水机1台; 14、安装调试:设备厂家必须(略)。 15、商务要求:代理商必须需提供生产厂家授权书。 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
**泰科诺科技有限公司 | (略) | 最低价原则 |
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