位置>千里马招标网> 招标中心> DK原子层沉积装置(JJ2023002333)延期公告
您尚未开通该权限!
咨询客服:400-688-2000,掌握更多商机线索!
- 咨询:400-688-2000查看全部商机
由于该项目报价情况不满足要求,本项目延期至2023-09-21 11:00 |
DK原子层沉积装置 | 项目编号**** | |
2023-09-19 09:30:53 | 公告截止日期2023-09-21 11:00:00 | |
**** | 付款方式供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格,双方签字确认后,七个工作日内支付全部货款。 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 合同签定生效后30个工作日内 | |
¥ | ||
****八里台校区 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
DK原子层沉积装置 | 1 | 台 |
诺图 |
D100-4882 |
¥ |
一、设备组成(一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件;(二) 样品基片尺寸:4英寸;(三) 反应器加热温度:室温~400℃(四) 4路前体源:每路包含高温高速ALD专用阀门(美国Swagelok)、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门,4个加热套,可对管路和3路源进行加热(室温~200℃)(五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口;配备4个VCR接口不锈钢源瓶2个VCR接口大口径隔膜阀和2个直通耐高温球阀;(六) 采用8通道阀岛(德国进口)集成气动控制系统(最大可扩展至7路前体源);(七) 采用8通道高精度PID温控系统;(八) 载气和臭氧:采用数字流量计程序控制;(九) 真空泵系统:真空机械泵与相关管路;(十) 尾气吸附肼1套,真空泵上面配备专用油雾过滤器,以吸附过量的反应物,从而保护真空泵。(十一) 臭氧系统:高浓度臭氧发生器及相关管路;臭氧流量为数字流量计控制;数字流量计控制流量,控制精度可达到±0.3 sccm(十二) 预装Windows笔记本电脑;(十三) 集成整合界面自动控制软件 程序控制两种工作模式(Flow type和Close type)可选。二、技术指标:基片尺寸:4英寸及以下基片加热温度:室温~400℃,控制精度0.1℃前驱体输运系统:4路前驱体管路,可根据客户需要进行选配前驱体管路温度:室温~200℃,控制精度0.1℃源瓶加热温度:室温~200℃,控制精度0.1℃ALD阀门 :美国进口世伟洛克Swagelok快速高温ALD专用阀门真空系统:抽速3 L/s,极限压力可达到6 × 10-3 mbar 配备油雾过滤器载气系统:采用8通道阀岛(德国进口)集成气动控制系统,并采用不锈钢管路,所用载气为高纯N2/Ar反应气体系统:配置不锈钢气体管路和**华创数字流量计,控制精度可达到±0.3 sccm生长模式:Flow type和Close type两种可选控制系统:操作界面统一整合到笔记本电脑进行控制电源:220V/10A交流电源沉积非均匀性:非均匀性<± 1%设备尺寸:700mm x 680mm x 990mm |
按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
注册会员享贴心服务
项目查询服务
·让您全面及时掌握全国各省市拟建、报批、立项、施工在建项目的项目信息
·帮您跟对合适的项目、找对准确的负责人,全面掌握各项目的业主单位、设计院、总包单位、施工企业的项目经理、项目负责人的详细联系方式
·帮您第一时间获得全国项目业主、招标代理公司和政府采购中心发布的招标、中标项目信息
项目定制服务
·根据您的关注重点定制项目,从海量的项目中筛选出符合您的要求和标准的工程并及时找出关键负责人和联系方式
·根据您的需要,向您指定的手机、电子邮箱及时反馈项目进展情况
- 猜你喜欢
- 更多通道侗族自治县招标采购信息
- 伊春市公安局伊美分局其他政法、检测
- 09月20日
- RQ23090035电感器采购
- 09月20日
- 双塘村垃圾分类墙体彩绘项目中标结果
- 09月20日
- 环卫工程部总磷测试包2023091
- 09月20日
- 青岛市特种设备检验研究院承压类特种
- 09月20日
- (中止公告)【测试项目】0926-
- 09月20日
- 光大绿色环保生物能源(宿州)有限公
- 09月20日
- 吉林大学中日联谊医院医用仪器设备(
- 09月20日
- 大榭石化化验室试剂标样杂品-202
- 09月20日
- 核工业理化工程研究院采购测厚仪1台
- 09月20日
- 高分辨激光共聚焦显微镜
- 09月20日
- 类器官核酸分子序列分析与定量分析系
- 09月20日
-
通道侗族自治县建材网
通道侗族自治县采购信息网
通道侗族自治县政府公开信息
通道侗族自治县公共资源交易网
通道侗族自治县电力交易中心
通道侗族自治县交易中心
通道侗族自治县房产交易中心
通道侗族自治县工程交易中心
通道侗族自治县钢铁交易中心
通道侗族自治县建设交易中心
通道侗族自治县招投标交易中心
通道侗族自治县政府交易中心
通道侗族自治县造价信息网
通道侗族自治县市政工程信息网
通道侗族自治县水利工程信息网
通道侗族自治县通信工程信息网
通道侗族自治县医药招标网
通道侗族自治县建筑招标网
通道侗族自治县工程招标网
通道侗族自治县建设招标网
通道侗族自治县施工招标
通道侗族自治县装饰工程招标
通道侗族自治县建设工程网
通道侗族自治县水利招标信息网
通道侗族自治县电力招标网
通道侗族自治县建委招投标网
通道侗族自治县建筑管理网
通道侗族自治县建设信息港
通道侗族自治县教育招标网
通道侗族自治县装修招标
通道侗族自治县人力和社会保障局
通道侗族自治县建设网
通道侗族自治县总包工程
通道侗族自治县政府工程招标
通道侗族自治县工程施工招标
通道侗族自治县工程公开项目
通道侗族自治县工程采购信息
通道侗族自治县招标投标采购平台
通道侗族自治县省市工程建设网