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2023年10月07日 11:01
聚焦离子束系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 聚焦离子束系统 |
预算金额: | 650.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****9900其他仪器仪表 |
采购需求概况 : | 名称:聚焦离子束系统 主要功能:利用经过聚焦的Ga离子束斑在样品上扫描,具有一定动能的Ga离子可以对样品进行刻蚀,形成纳米级的图形结构;也可以进行离子束成像。结合注入反应气体,可以实现薄膜的沉积功能。结合电子束观测,可以实现复杂的纳米结构加工。 采购数量:1 技术指标:1. 电子显微镜分辨率≤1nm 2. 离子显微镜分辨率≤5nm 3. Ga 离子束流 1pA-100nA |
预计采购时间: | 2023-10 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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